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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第475位 70件 下降2014年:第473位 74件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第385位 67件 下降2014年:第336位 115件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-204450 電子ビーム描画装置、及び電子ビームの収束半角調整方法 2015年11月16日
特開 2015-200645 撮像装置、検査装置および検査方法 2015年11月12日
特開 2015-201576 ショットデータ生成方法およびマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2015年11月12日
特開 2015-195312 気相成長装置および気相成長方法 2015年11月 5日
特開 2015-191960 成膜装置、成膜方法及びリフレクタユニット 2015年11月 2日
特開 2015-188014 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2015年10月29日
特開 2015-185800 荷電粒子ビーム描画装置、情報処理装置、パターン検査装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2015年10月22日
特開 2015-178048 偏向器用クリーニング装置及び偏向器のクリーニング方法 2015年10月 8日
特開 2015-179735 荷電粒子ビームのドリフト補正方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2015年10月 8日
特開 2015-167212 マルチ荷電粒子ビーム描画装置 2015年 9月24日
特開 2015-158594 マスクの製造方法、マスク基板、および荷電ビーム描画方法 2015年 9月 3日
特開 2015-156418 気相成長方法 2015年 8月27日
特開 2015-153763 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2015年 8月24日
特開 2015-153873 セトリング時間の取得方法 2015年 8月24日
特開 2015-145811 照明装置及びパターン検査装置 2015年 8月13日

71 件中 16-30 件を表示

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2015-204450 2015-200645 2015-201576 2015-195312 2015-191960 2015-188014 2015-185800 2015-178048 2015-179735 2015-167212 2015-158594 2015-156418 2015-153763 2015-153873 2015-145811

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