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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5832173	気相成長装置および気相成長方法	2015年12月16日
特許 5832345	検査装置および検査方法	2015年12月16日
特許 5832867	荷電粒子ビーム描画装置、パターン検査装置及びレイアウト表示方法	2015年12月16日
特許 5833401	荷電粒子ビーム描画方法	2015年12月16日
特許 5828610	荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置	2015年12月 9日
特許 5826566	マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法	2015年12月 2日
特許 5820143	半導体製造装置、半導体製造方法及び半導体製造装置のクリーニング方法	2015年11月24日
特許 5820729	光束分岐素子、およびマスク欠陥検査装置	2015年11月24日
特許 5816739	マルチビームのブランキングアパーチャアレイ装置、及びマルチビームのブランキングアパーチャアレイ装置の製造方法	2015年11月18日
特許 5819140	荷電粒子ビーム描画装置及びＤＡＣアンプの評価方法	2015年11月18日
特許 5819144	荷電粒子ビーム描画装置の評価方法及び荷電粒子ビーム描画装置	2015年11月18日
特許 5813379	マスク製造用装置	2015年11月17日
特許 5814804	半導体製造装置および半導体製造方法	2015年11月17日
特許 5809483	ショットデータの作成方法、荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2015年11月11日
特許 5809912	荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法	2015年11月11日

67 件中 1-15 件を表示

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5832173 5832345 5832867 5833401 5828610 5826566 5820143 5820729 5816739 5819140 5819144 5813379 5814804 5809483 5809912

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