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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第475位 70件 下降2014年:第473位 74件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第385位 67件 下降2014年:第336位 115件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5832173 気相成長装置および気相成長方法 2015年12月16日
特許 5832345 検査装置および検査方法 2015年12月16日
特許 5832867 荷電粒子ビーム描画装置、パターン検査装置及びレイアウト表示方法 2015年12月16日
特許 5833401 荷電粒子ビーム描画方法 2015年12月16日
特許 5828610 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2015年12月 9日
特許 5826566 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2015年12月 2日
特許 5820143 半導体製造装置、半導体製造方法及び半導体製造装置のクリーニング方法 2015年11月24日
特許 5820729 光束分岐素子、およびマスク欠陥検査装置 2015年11月24日
特許 5816739 マルチビームのブランキングアパーチャアレイ装置、及びマルチビームのブランキングアパーチャアレイ装置の製造方法 2015年11月18日
特許 5819140 荷電粒子ビーム描画装置及びDACアンプの評価方法 2015年11月18日
特許 5819144 荷電粒子ビーム描画装置の評価方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2015年11月18日
特許 5813379 マスク製造用装置 2015年11月17日
特許 5814804 半導体製造装置および半導体製造方法 2015年11月17日
特許 5809483 ショットデータの作成方法、荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2015年11月11日
特許 5809912 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2015年11月11日

67 件中 1-15 件を表示

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5832173 5832345 5832867 5833401 5828610 5826566 5820143 5820729 5816739 5819140 5819144 5813379 5814804 5809483 5809912

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