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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7400830	マルチ荷電粒子ビーム調整方法、マルチ荷電粒子ビーム照射方法、及びマルチ荷電粒子ビーム照射装置	2023年12月19日
特許 7397238	電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法	2023年12月12日
特許 7392805	描画データ生成プログラム、マルチ荷電粒子ビーム描画プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体	2023年12月 6日
特許 7388237	マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置	2023年11月29日
特許 7386619	電子ビーム検査方法及び電子ビーム検査装置	2023年11月27日
特許 7386365	ＳｉＣエピタキシャル成長装置およびＳｉＣエピタキシャル成長装置の副生成物除去方法	2023年11月24日
特許 7385493	マルチ荷電粒子ビーム位置合わせ方法及びマルチ荷電粒子ビーム検査装置	2023年11月22日
特許 7367695	荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法及びプログラム	2023年10月24日
特許 7365761	気相成長装置	2023年10月20日
特許 7359050	マルチビーム用のブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置	2023年10月11日
特許 7356329	電子ビーム照射装置、描画装置及び検査装置	2023年10月 4日
特許 7356605	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2023年10月 4日
特許 7352446	ステージ機構	2023年 9月28日
特許 7352447	パターン検査装置及びパターン検査方法	2023年 9月28日
特許 7344706	電子ビーム検査装置	2023年 9月14日

55 件中 1-15 件を表示

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7400830 7397238 7392805 7388237 7386619 7386365 7385493 7367695 7365761 7359050 7356329 7356605 7352446 7352447 7344706

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