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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第153位 256件
(
2017年:第172位 254件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第188位 158件
(
2017年:第226位 136件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特表 2018-538629 | 略図オーバレイを対話的かつ動的に更新する方法および装置 | 2018年12月27日 | |
| 特表 2018-538518 | パーティクルモニタリング装置 | 2018年12月27日 | |
| 特表 2018-538430 | 堆積装置を操作する方法、蒸発した源材料を基板に堆積する方法、及び堆積装置 | 2018年12月27日 | |
| 特表 2018-538429 | 堆積速度を測定するための測定アセンブリ、蒸発源、堆積装置及びそのための方法 | 2018年12月27日 | |
| 特表 2018-538152 | 所望のゼータ電位を有する研磨用物品を形成するための装置及び方法 | 2018年12月27日 | |
| 特開 2018-201004 | 低温の透過高温測定用検出器 | 2018年12月20日 | |
| 特表 2018-537580 | HDP−CVDチャンバのアーク発生を防止するための高度なコーティング方法および材料 | 2018年12月20日 | |
| 特表 2018-537586 | フレキシブル基板用のキャリア | 2018年12月20日 | |
| 特表 2018-537849 | タングステン膜の低抵抗物理的気相堆積のためのシステムおよび方法 | 2018年12月20日 | |
| 特表 2018-537853 | ウエハのポイントバイポイント分析及びデータの提示 | 2018年12月20日 | |
| 特開 2018-199863 | タングステン柱を形成する方法 | 2018年12月20日 | |
| 特開 2018-201027 | マルチゾーン温度制御および多パージ機能を有するペデスタル | 2018年12月20日 | |
| 特開 2018-201031 | 低K及びその他の誘電体膜をエッチングするための処理チャンバ | 2018年12月20日 | |
| 特表 2018-536981 | 原子レベル分解能及びプラズマ処理制御のための方法 | 2018年12月13日 | |
| 特表 2018-536768 | 基板上のスパッタ堆積用に構成されたシステム、スパッタ堆積チャンバ用のシールド装置、およびスパッタ堆積チャンバ内に電気シールドを設ける方法 | 2018年12月13日 |
256 件中 1-15 件を表示
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2018-538629 2018-538518 2018-538430 2018-538429 2018-538152 2018-201004 2018-537580 2018-537586 2018-537849 2018-537853 2018-199863 2018-201027 2018-201031 2018-536981 2018-536768
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