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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第172位 256件
(2017年:第207位 254件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第188位 158件
(2017年:第227位 136件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6440716 | 周期的エッチング工程を用いたエッチング停止層のエッチング方法 | 2018年12月19日 | |
特許 6440740 | 物体を保持、位置決めおよび/または移動させるための装置 | 2018年12月19日 | |
特許 6440741 | 終点検出のための連続特徴トラッキング | 2018年12月19日 | |
特許 6441927 | 局部的に加熱されるマルチゾーン式の基板支持体 | 2018年12月19日 | |
特許 6442463 | 環状のバッフル | 2018年12月19日 | |
特許 6442495 | 局所領域流量制御を備える研磨システム | 2018年12月19日 | |
特許 6438288 | 化学機械的研磨のスペクトルに基づく監視のための装置および方法 | 2018年12月12日 | |
特許 6438302 | 低K及びその他の誘電体膜をエッチングするための処理チャンバ | 2018年12月12日 | |
特許 6435325 | ガス供給を備えた蒸発装置 | 2018年12月 5日 | |
特許 6435391 | 補助窓シール付き研磨パッド | 2018年12月 5日 | |
特許 6429170 | 堆積チャンバ向けの冷却式の反射性のアダプタプレート | 2018年11月28日 | |
特許 6431073 | 交換可能ランプ向けのアダプタ | 2018年11月28日 | |
特許 6431096 | 真空室用の閉鎖またはエアロック装置 | 2018年11月28日 | |
特許 6431488 | OLED薄膜カプセル化のためのフッ素含有プラズマ重合HMDSO | 2018年11月28日 | |
特許 6425706 | リチウムイオンバッテリのためのエレクトロスプレーを用いた複合シャワーヘッドコーティング装置 | 2018年11月21日 |
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6440716 6440740 6440741 6441927 6442463 6442495 6438288 6438302 6435325 6435391 6429170 6431073 6431096 6431488 6425706
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