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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第141位 330件
(
2018年:第172位 256件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第156位 176件
(
2018年:第188位 158件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2019-219671 | 極端紫外線リソグラフィマスクブランク製造システムとそのための操作方法 | 2019年12月26日 | |
| 特開 2019-220688 | プラズマエッチングチャンバ内の汚染を低減する装置 | 2019年12月26日 | |
| 特開 2019-220691 | 較正ジグ | 2019年12月26日 | |
| 特表 2019-537218 | 移動基板の完全プラズマ被覆のための動的フェーズドアレイプラズマ源 | 2019年12月19日 | |
| 特表 2019-537236 | キャリアを上げ又は下げるためのアセンブリ、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置、及びキャリアを上げる又は下げるための方法 | 2019年12月19日 | |
| 特表 2019-537251 | 化学機械研磨のためのリアルタイム・プロファイル制御 | 2019年12月19日 | |
| 特表 2019-537262 | V字型シールバンドを有するセラミック静電チャック | 2019年12月19日 | |
| 特表 2019-537267 | 効率的なガス分配アセンブリの冷却のための同心状又は螺旋状チャンネルを備える2ゾーンフロー冷却プレートの設計 | 2019年12月19日 | |
| 特表 2019-537270 | ニューラルネットワークを使用する分光モニタリング | 2019年12月19日 | |
| 特開 2019-214790 | 拡散障壁層及び浸食防止層を有する多層コーティング | 2019年12月19日 | |
| 特開 2019-214791 | 有機材料用の蒸発源 | 2019年12月19日 | |
| 特開 2019-216086 | 一体化されたガス分配装置を有するモジュール型高周波源 | 2019年12月19日 | |
| 特表 2019-535905 | 浮遊シャドウリングを有するプロセスキット | 2019年12月12日 | |
| 特表 2019-536272 | 改善されたロードポートバックプレーンのためのシステム、装置、及び方法 | 2019年12月12日 | |
| 特表 2019-536273 | スペクトル高周波分析を用いた処理チャンバハードウェア障害検出 | 2019年12月12日 |
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2019-219671 2019-220688 2019-220691 2019-537218 2019-537236 2019-537251 2019-537262 2019-537267 2019-537270 2019-214790 2019-214791 2019-216086 2019-535905 2019-536272 2019-536273
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12月10日(水) -
12月10日(水) -
12月10日(水) -
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12月11日(木) -
12月11日(木) -
12月11日(木) -
12月12日(金) -
12月12日(金) -
12月12日(金) -
12月12日(金) -
12月8日(月) - 愛知 名古屋市
12月15日(月) -
12月15日(月) -
12月15日(月) -
12月15日(月) -
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12月16日(火) - 東京 千代田区
12月16日(火) -
12月16日(火) -
12月17日(水) -
12月17日(水) -
12月17日(水) -
12月18日(木) -
12月18日(木) -
12月18日(木) -
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