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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第249位 162件
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2014年: 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特表 2015-537365 | バッテリセパレータ上のセラミック被覆 | 2015年12月24日 | |
| 特開 2015-230837 | 加熱装置及びこれを用いた半導体製造装置 | 2015年12月21日 | |
| 特表 2015-536575 | 3つのゾーンからなるキャリアヘッドおよびフレキシブル膜 | 2015年12月21日 | |
| 特表 2015-536253 | 振動が制御される基板ハンドリングロボット、システム及び方法 | 2015年12月21日 | |
| 特表 2015-536048 | 改善されたエッジリングリップ | 2015年12月17日 | |
| 特表 2015-536043 | 基板処理システムにおける温度制御 | 2015年12月17日 | |
| 特表 2015-536042 | 閉ループ制御を有する底部および側部プラズマ同調 | 2015年12月17日 | |
| 特表 2015-535387 | 薄膜電気化学デバイスのパターニングのための回折光学素子及び方法 | 2015年12月10日 | |
| 特開 2015-216390 | ガス導入開口を備えた基板支持体 | 2015年12月 3日 | |
| 特開 2015-216399 | 多数の光ヘッドからのスペクトルの収集 | 2015年12月 3日 | |
| 特表 2015-534264 | 基板処理システム及び基板を処理する方法 | 2015年11月26日 | |
| 特表 2015-533928 | 堆積プロセスの同期のための方法および装置 | 2015年11月26日 | |
| 特表 2015-534261 | トレンチ側壁の平滑化のためのシリコンエッチング方法 | 2015年11月26日 | |
| 特表 2015-534265 | 低コストの流動性を有する誘電体膜 | 2015年11月26日 | |
| 特開 2015-212219 | ハロゲン含有プラズマに露出された表面の浸食速度を減じる装置及び方法 | 2015年11月26日 |
162 件中 1-15 件を表示
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2015-537365 2015-230837 2015-536575 2015-536253 2015-536048 2015-536043 2015-536042 2015-535387 2015-216390 2015-216399 2015-534264 2015-533928 2015-534261 2015-534265 2015-212219
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