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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第56位 541件
(
2021年:第132位 313件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第112位 303件
(
2021年:第117位 241件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7168747 | ガス流量比制御のための方法及びアセンブリ | 2022年11月 9日 | |
| 特許 7166759 | HDP-CVDチャンバのアーク発生を防止するための高度なコーティング方法および材料 | 2022年11月 8日 | |
| 特許 7166858 | 半導体プロセスモジュールのためのインサイチュ装置 | 2022年11月 8日 | |
| 特許 7166435 | 高画像コントラストを維持しながらマスクレスリソグラフィの分解能を向上させるための方法 | 2022年11月 7日 | |
| 特許 7165216 | 基板キャリア及びパージチャンバの環境制御を伴う基板処理のシステム、装置、及び方法 | 2022年11月 2日 | |
| 特許 7165223 | マイクロデバイスの移動のためのシステム及び方法 | 2022年11月 2日 | |
| 特許 7164632 | フラットパネルプロセス機器用の温度制御ガスディフューザー | 2022年11月 1日 | |
| 特許 7162000 | CMP位置特定研磨(LSP)用に設計された螺旋及び同心運動 | 2022年10月27日 | |
| 特許 7161497 | 基板処理システムの基板支持体に関する基板位置較正 | 2022年10月26日 | |
| 特許 7161520 | シリコンベース誘電体への選択的堆積のための方法 | 2022年10月26日 | |
| 特許 7160692 | 化学機械研磨自動レシピ生成 | 2022年10月25日 | |
| 特許 7158829 | 領域選択堆積用の統合クラスタツール | 2022年10月24日 | |
| 特許 7159285 | 金属表面上にブロッキング層を堆積させるための方法 | 2022年10月24日 | |
| 特許 7159443 | DRAM STIアクティブカットパターニングへのマルチカラーアプローチ | 2022年10月24日 | |
| 特許 7158133 | 雰囲気が制御された移送モジュール及び処理システム | 2022年10月21日 |
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7168747 7166759 7166858 7166435 7165216 7165223 7164632 7162000 7161497 7161520 7160692 7158829 7159285 7159443 7158133
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【大阪会場】 前田知財塾 ~スキルアップ編~ 知財の仕事を、もっと深く、もっと面白く! 第2回 「特許権侵害判断・回避構造の検討」
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