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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2015年 出願公開件数ランキング    第263位 162件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第236位 126件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5837178 化学気相堆積チャンバ用のライナアセンブリ 2015年12月24日
特許 5828836 陽極処理されたシャワーヘッド 2015年12月 9日
特許 5829376 マルチカラム電子ビーム検査システムにおけるクロストークの軽減方法 2015年12月 9日
特許 5829396 位相調節可能なコイルアセンブリを備えたデュアルモード誘導結合プラズマ処理システム 2015年12月 9日
特許 5823234 半導体ウェハを処理するリアクタ、そのリアクタのカバー部材、および、そのリアクタを作動する方法 2015年11月25日
特許 5822823 膜厚不均一性および粒子性能を改善するCVD装置 2015年11月24日
特許 5813005 広範囲ウエハ温度制御のための多機能ヒータ/冷却装置ペデスタル 2015年11月17日
特許 5813104 処理チャンバ洗浄ガスの乱流を誘発するための方法および装置 2015年11月17日
特許 5813281 バッチALDリアクタのための処理プロセス 2015年11月17日
特許 5813441 半導体ウェーハ処理用の高効率静電チャック組立体 2015年11月17日
特許 5813874 スパッタリング装置およびスパッタリング方法 2015年11月17日
特許 5814116 処理システム及び処理システムを運転する方法 2015年11月17日
特許 5815032 フロー電池システム 2015年11月17日
特許 5808522 シリコンを含有するエピタキシャル層の形成 2015年11月10日
特許 5808814 3Dメモリに適用するPECVD酸化物−窒化物スタック及び酸化物−シリコンスタック 2015年11月10日

127 件中 1-15 件を表示

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5837178 5828836 5829376 5829396 5823234 5822823 5813005 5813104 5813281 5813441 5813874 5814116 5815032 5808522 5808814

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