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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7609751 基板処理のための混合プラットフォームの装置、システム、及び方法 2025年 1月 7日
特許 7609787 ウエハ処理ツール及びその方法 2025年 1月 7日
特許 7609863 ガス伝達調節のためのチャンバ部品 2025年 1月 7日
特許 7609968 低温応用例のための静電チャックアセンブリ 2025年 1月 7日
特許 7609976 堆積及びエッチングのための半導体処理チャンバ 2025年 1月 7日
特許 7610001 水平予洗浄モジュール用のパッドキャリア 2025年 1月 7日
特許 7610034 プラズマを使用した薄膜形成のグランドリターン 2025年 1月 7日
特許 7608451 基板のラジカル及び熱処理用システム及び方法 2025年 1月 6日
特許 7608454 材料の表面粗さを減少させる方法 2025年 1月 6日
特許 7608470 基板の間隙充填方法 2025年 1月 6日
特許 7608599 グリッドトレイアセンブリ 2025年 1月 6日
特許 7608612 基板エッジの欠陥低減のための研磨システム装置及び方法 2025年 1月 6日
特許 7608625 温度制御され/電気的にバイアスをかけられるウエハ周辺 2025年 1月 6日
特許 7608627 基板を処理するための方法及び装置 2025年 1月 6日
特許 7608639 プロセスチャンバ用電力供給システムにおけるアーク放電の検出方法 2025年 1月 6日

176 件中 166-180 件を表示

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7609751 7609787 7609863 7609968 7609976 7610001 7610034 7608451 7608454 7608470 7608599 7608612 7608625 7608627 7608639

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