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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第1835位 12件
(
2022年:第1542位 15件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1177位 18件
(
2022年:第977位 23件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7391595 | タングステン用のケミカルメカニカルポリッシング組成物及び方法 | 2023年12月 5日 | |
| 特許 7359554 | 欠陥抑制を向上させた研磨組成物及び基板の研磨方法 | 2023年10月11日 | |
| 特許 7355487 | カチオン性粒子含有スラリー及びスピンオン炭素膜のCMPのためのその使用方法 | 2023年10月 3日 | |
| 特許 7338959 | フランジ付き光学的終了点検出窓及びそれを含むCMP用研磨パッド | 2023年 9月 5日 | |
| 特許 7323271 | 偏倚されたパルスCMP溝パターン | 2023年 8月 8日 | |
| 特許 7311396 | ケミカルメカニカルポリッシングパッド及び研磨方法 | 2023年 7月19日 | |
| 特許 7311397 | ケミカルメカニカルポリッシングパッド及び研磨方法 | 2023年 7月19日 | |
| 特許 7294794 | パッド摩耗インジケータを有する研磨パッド | 2023年 6月20日 | |
| 特許 7274844 | 浅溝分離に使用するための水性シリカスラリー及びアミンカルボン酸組成物並びにその使用方法 | 2023年 5月17日 | |
| 特許 7274845 | 浅溝分離に使用するための水性低砥粒シリカスラリー及びアミンカルボン酸組成物並びにその製造方法及び使用方法 | 2023年 5月17日 | |
| 特許 7260698 | ケミカルメカニカル研磨パッド | 2023年 4月18日 | |
| 特許 7231362 | コバルト用ケミカルメカニカルポリッシング方法 | 2023年 3月 1日 | |
| 特許 7231364 | 研磨における選択的窒化物除去のための水性シリカスラリー及びアミンカルボン酸組成物並びにその使用方法 | 2023年 3月 1日 | |
| 特許 7231365 | 研磨における選択的窒化物除去のための水性アニオン性官能性シリカスラリー及びアミンカルボン酸組成物並びにその使用方法 | 2023年 3月 1日 | |
| 特許 7207870 | 台形CMP溝パターン | 2023年 1月18日 |
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7391595 7359554 7355487 7338959 7323271 7311396 7311397 7294794 7274844 7274845 7260698 7231362 7231364 7231365 7207870
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