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杭州▲衆▼硅▲電▼子科技有限公司

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2024-546713 研磨パッドの表面状態をオンラインで検出する方法及び検出システム 2024年12月26日
特表 2024-547154 研磨パッドのトリミング装置 2024年12月26日
特表 2024-545116 起立式ウエハーカセット 2024年12月 5日
特表 2024-544229 ウエハーに用いられる位置検出装置、位置検出方法及びウエハー速度計測方法 2024年11月28日
特表 2024-543604 ウェハ研磨システム及びウェハ搬送方法 2024年11月21日
特表 2024-543708 マルチウェハブラッシング装置 2024年11月21日
特表 2024-542876 ウェハを洗浄するための配列式メガソニック洗浄装置 2024年11月15日
特表 2024-531411 ウエハー研磨システム 2024年 8月29日
特表 2024-531412 ウエハー研磨システム 2024年 8月29日
特表 2024-522438 研磨ヘッドと搬送ステーションの作動位置を較正する装置及び方法 2024年 6月21日
特開 2024-68075 導電性ウェーハ基板を処理する電気化学的機械研磨及び平坦化機器 2024年 5月17日
特表 2024-508183 ウェハ位置検出装置 2024年 2月22日

13 件中 1-12 件を表示

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