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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2024-546713 | 研磨パッドの表面状態をオンラインで検出する方法及び検出システム | 2024年12月26日 | |
特表 2024-547154 | 研磨パッドのトリミング装置 | 2024年12月26日 | |
特表 2024-545116 | 起立式ウエハーカセット | 2024年12月 5日 | |
特表 2024-544229 | ウエハーに用いられる位置検出装置、位置検出方法及びウエハー速度計測方法 | 2024年11月28日 | |
特表 2024-543604 | ウェハ研磨システム及びウェハ搬送方法 | 2024年11月21日 | |
特表 2024-543708 | マルチウェハブラッシング装置 | 2024年11月21日 | |
特表 2024-542876 | ウェハを洗浄するための配列式メガソニック洗浄装置 | 2024年11月15日 | |
特表 2024-531411 | ウエハー研磨システム | 2024年 8月29日 | |
特表 2024-531412 | ウエハー研磨システム | 2024年 8月29日 | |
特表 2024-522438 | 研磨ヘッドと搬送ステーションの作動位置を較正する装置及び方法 | 2024年 6月21日 | |
特開 2024-68075 | 導電性ウェーハ基板を処理する電気化学的機械研磨及び平坦化機器 | 2024年 5月17日 | |
特表 2024-508183 | ウェハ位置検出装置 | 2024年 2月22日 |
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2024-546713 2024-547154 2024-545116 2024-544229 2024-543604 2024-543708 2024-542876 2024-531411 2024-531412 2024-522438 2024-68075 2024-508183
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1月11日(土) -
1月11日(土) -
1月9日(木) -
1月14日(火) - 東京 港区
1月15日(水) -
1月15日(水) - 東京 千代田区
1月15日(水) -
1月15日(水) -
1月16日(木) - 石川 金沢市
1月16日(木) -
1月17日(金) - 東京 渋谷区
1月17日(金) -
1月17日(金) -
1月18日(土) -
1月14日(火) - 東京 港区
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