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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2019年 出願公開件数ランキング    第696位 45件 下降2018年:第645位 45件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第385位 68件 下降2018年:第367位 75件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2019-521352 光学面の形状を干渉法により求める測定装置 2019年 7月25日
特表 2019-521391 光学格子及び光学格子の光学アセンブリ 2019年 7月25日
特表 2019-519813 EUVコレクタ 2019年 7月11日
特表 2019-517030 光学結像装置の取付装置 2019年 6月20日
特表 2019-517034 リソグラフィ装置の光学素子の位置測定 2019年 6月20日
特開 2019-95799 照射光を案内するための光導波路 2019年 6月20日
特開 2019-95814 マスクによって生じる結像収差の補正を用いて投影露光装置を作動させる方法 2019年 6月20日
特表 2019-516129 EUV投影露光装置に使用するためのEUVコレクター 2019年 6月13日
特開 2019-90819 回折光学素子及び測定方法 2019年 6月13日
特表 2019-515267 測定台上のマスクホルダの位置を検出する方法 2019年 6月 6日
特表 2019-514058 投影レンズのための減衰フィルタ、投影露光装置のための減衰フィルタを有する投影レンズ、及び投影レンズを有する投影露光装置 2019年 5月30日
特開 2019-82684 マイクロリソグラフィマスク、そのようなマスクの構造の画像のエッジ位置を決定する方法、及びそのような方法を実施するためのシステム 2019年 5月30日
特開 2019-70812 マイクロリソグラフィのための投影露光ツールを作動させる方法 2019年 5月 9日
特開 2019-70831 マイクロリソグラフィ投影対物レンズ 2019年 5月 9日
特開 2019-71291 イオン化装置およびそれを有する質量分析計 2019年 5月 9日

46 件中 16-30 件を表示

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2019-521352 2019-521391 2019-519813 2019-517030 2019-517034 2019-95799 2019-95814 2019-516129 2019-90819 2019-515267 2019-514058 2019-82684 2019-70812 2019-70831 2019-71291

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