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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特表 2014-534643	ミラーの配置	2014年12月18日
特表 2014-534619	リソグラフィシステムの光学素子の動きの制御方法	2014年12月18日
特開 2014-239234	光学モジュールへの力作用を調節可能な光学装置	2014年12月18日
特開 2014-239240	投影露光方法、投影露光システム、及び投影対物系	2014年12月18日
特表 2014-533441	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光変調器及び照明系	2014年12月11日
特開 2014-232878	変形可能な光学素子を有する光学装置	2014年12月11日
特開 2014-232889	リソグラフィ装置及び方法	2014年12月11日
特表 2014-532309	ＥＵＶ波長域用の反射光学素子、当該素子を製造及び補正する方法、当該素子を備えたマイクロリソグラフィ用投影レンズ、及び当該投影レンズを備えたマイクロリソグラフィ用投影露光装置	2014年12月 4日
特開 2014-225690	傾斜偏向ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置、投影露光方法、及びミラー	2014年12月 4日
特開 2014-222366	結像光学系及びこの種の結像光学系を備えたマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2014年11月27日
特表 2014-530509	コレクター	2014年11月17日
特開 2014-212327	マイクロリソグラフィのための照明系	2014年11月13日
特開 2014-209253	絞りを有する投影対物系	2014年11月 6日
特開 2014-209249	マイクロリソグラフィのための投影光学系	2014年11月 6日
特開 2014-209248	光学結像装置	2014年11月 6日

96 件中 1-15 件を表示

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2014-534643 2014-534619 2014-239234 2014-239240 2014-533441 2014-232878 2014-232889 2014-532309 2014-225690 2014-222366 2014-530509 2014-212327 2014-209253 2014-209249 2014-209248

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