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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第425位 82件 下降2014年:第383位 96件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第402位 64件 下降2014年:第284位 137件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2015-537235 ミラー素子の傾動を調整するための方法及びコンポーネント 2015年12月24日
特表 2015-535930 回折光学素子及び測定方法 2015年12月17日
特開 2015-222428 マスクによって生じる結像収差の補正を用いて投影露光装置を作動させる方法 2015年12月10日
特表 2015-535096 圧力変動の影響を減少させる手段を備える投影露光装置 2015年12月 7日
特表 2015-534653 マイクロリソグラフィー投影露光装置用光学システム及びマイクロリソグラフィー露光方法 2015年12月 3日
特表 2015-534110 ミラー 2015年11月26日
特表 2015-534123 マイクロリソグラフィ装置を作動させる方法 2015年11月26日
特表 2015-534130 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム 2015年11月26日
特表 2015-534132 投影露光装置に使用することができる出力ビームを発生させるためのEUV光源 2015年11月26日
特開 2015-180936 偏光変調光学素子 2015年10月15日
特表 2015-529836 EUV用途向け光学素子を冷却するための方法および冷却システム 2015年10月 8日
特表 2015-529839 セグメント化ミラーを有するリソグラフィー装置 2015年10月 8日
特表 2015-529846 リソグラフィー装置用ミラー構造体及び該ミラー構造体の製造方法 2015年10月 8日
特表 2015-528924 光学距離測定システムを備えるマイクロリソグラフィー用の投影露光装置 2015年10月 1日
特表 2015-528134 EUV投影露光装置用ミラー機構、その操作方法、及びEUV投影露光装置 2015年 9月24日

83 件中 1-15 件を表示

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2015-537235 2015-535930 2015-222428 2015-535096 2015-534653 2015-534110 2015-534123 2015-534130 2015-534132 2015-180936 2015-529836 2015-529839 2015-529846 2015-528924 2015-528134

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