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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2015-537235	ミラー素子の傾動を調整するための方法及びコンポーネント	2015年12月24日
特表 2015-535930	回折光学素子及び測定方法	2015年12月17日
特開 2015-222428	マスクによって生じる結像収差の補正を用いて投影露光装置を作動させる方法	2015年12月10日
特表 2015-535096	圧力変動の影響を減少させる手段を備える投影露光装置	2015年12月 7日
特表 2015-534653	マイクロリソグラフィー投影露光装置用光学システム及びマイクロリソグラフィー露光方法	2015年12月 3日
特表 2015-534132	投影露光装置に使用することができる出力ビームを発生させるためのＥＵＶ光源	2015年11月26日
特表 2015-534130	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム	2015年11月26日
特表 2015-534123	マイクロリソグラフィ装置を作動させる方法	2015年11月26日
特表 2015-534110	ミラー	2015年11月26日
特開 2015-180936	偏光変調光学素子	2015年10月15日
特表 2015-529846	リソグラフィー装置用ミラー構造体及び該ミラー構造体の製造方法	2015年10月 8日
特表 2015-529836	ＥＵＶ用途向け光学素子を冷却するための方法および冷却システム	2015年10月 8日
特表 2015-529839	セグメント化ミラーを有するリソグラフィー装置	2015年10月 8日
特表 2015-528924	光学距離測定システムを備えるマイクロリソグラフィー用の投影露光装置	2015年10月 1日
特表 2015-528134	ＥＵＶ投影露光装置用ミラー機構、その操作方法、及びＥＵＶ投影露光装置	2015年 9月24日

83 件中 1-15 件を表示

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2015-537235 2015-535930 2015-222428 2015-535096 2015-534653 2015-534132 2015-534130 2015-534123 2015-534110 2015-180936 2015-529846 2015-529836 2015-529839 2015-528924 2015-528134

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