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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第425位 82件 (2014年:第383位 96件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第402位 64件 (2014年:第284位 137件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2015-537235 | ミラー素子の傾動を調整するための方法及びコンポーネント | 2015年12月24日 | |
特表 2015-535930 | 回折光学素子及び測定方法 | 2015年12月17日 | |
特開 2015-222428 | マスクによって生じる結像収差の補正を用いて投影露光装置を作動させる方法 | 2015年12月10日 | |
特表 2015-535096 | 圧力変動の影響を減少させる手段を備える投影露光装置 | 2015年12月 7日 | |
特表 2015-534653 | マイクロリソグラフィー投影露光装置用光学システム及びマイクロリソグラフィー露光方法 | 2015年12月 3日 | |
特表 2015-534110 | ミラー | 2015年11月26日 | |
特表 2015-534123 | マイクロリソグラフィ装置を作動させる方法 | 2015年11月26日 | |
特表 2015-534130 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム | 2015年11月26日 | |
特表 2015-534132 | 投影露光装置に使用することができる出力ビームを発生させるためのEUV光源 | 2015年11月26日 | |
特開 2015-180936 | 偏光変調光学素子 | 2015年10月15日 | |
特表 2015-529836 | EUV用途向け光学素子を冷却するための方法および冷却システム | 2015年10月 8日 | |
特表 2015-529839 | セグメント化ミラーを有するリソグラフィー装置 | 2015年10月 8日 | |
特表 2015-529846 | リソグラフィー装置用ミラー構造体及び該ミラー構造体の製造方法 | 2015年10月 8日 | |
特表 2015-528924 | 光学距離測定システムを備えるマイクロリソグラフィー用の投影露光装置 | 2015年10月 1日 | |
特表 2015-528134 | EUV投影露光装置用ミラー機構、その操作方法、及びEUV投影露光装置 | 2015年 9月24日 |
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2015-537235 2015-535930 2015-222428 2015-535096 2015-534653 2015-534110 2015-534123 2015-534130 2015-534132 2015-180936 2015-529836 2015-529839 2015-529846 2015-528924 2015-528134
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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