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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2021年 出願公開件数ランキング    第1005位 27件 下降2020年:第802位 35件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第862位 24件 下降2020年:第450位 55件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-189454 EUV放射線源、EUV放射線源のためのインサート、および、EUV放射線源のためのインサートのためのインサート 2021年12月13日
特表 2021-531510 マイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラー、及びデフォーマブルミラーの作動方法 2021年11月18日
特表 2021-530705 光学素子の表面形状を評価する方法及び装置 2021年11月11日
特表 2021-530733 フォトリソグラフィプロセスの要素の検査において統計的に分布した測定値を評価するための方法およびデバイス 2021年11月11日
特表 2021-530734 反射光学素子 2021年11月11日
特表 2021-529998 反射光学素子の基板 2021年11月 4日
特表 2021-530084 荷電粒子のビームを検査するための方法および装置 2021年11月 4日
特表 2021-528844 レーザの出力ビームのスペクトル帯域幅を減少させるための光学アセンブリ 2021年10月21日
特表 2021-527240 フォトリソグラフィ用の要素を検査および/または処理するための装置および方法 2021年10月11日
特開 2021-152683 複数の個々に制御可能な書込ヘッドを含むリソグラフィ装置 2021年 9月30日
特開 2021-144211 フォトマスクを測定するための方法 2021年 9月24日
特表 2021-524033 コンポーネントの位置を周波数に基づいて決定する測定アセンブリ 2021年 9月 9日
特表 2021-523425 フォトリソグラフィプロセスの要素の欠陥の未知の影響を評価するための方法および装置 2021年 9月 2日
特開 2021-119393 光学面を研磨する方法及び光学素子 2021年 8月12日
特表 2021-516796 マスクを検査するための方法およびデバイス 2021年 7月 8日

28 件中 1-15 件を表示

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