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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2012-256921	光学結像装置	2012年12月27日
特表 2012-533871	マイクロリソグラフィ投影露光装置及びそこに収容される光学面に関連するパラメータを測定する方法	2012年12月27日
特開 2012-256944	光学面から汚染層を除去するための方法、洗浄ガスを生成するための方法、ならびに対応する洗浄および洗浄ガス生成の構造	2012年12月27日	共同出願
特表 2012-533095	コーティングを有するマイクロミラー構成体及びコーティングを作製する方法	2012年12月20日
特表 2012-533180	マイクロリソグラフィ投影露光装置においてマスクを照明するための照明系	2012年12月20日
特開 2012-248849	照明光学ユニットを設定する方法及び装置	2012年12月13日
特表 2012-532467	ＥＵＶ波長域用のミラー、当該ミラーを備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物レンズ、及び当該対物レンズを備えるマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2012年12月13日
特開 2012-244184	投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法	2012年12月10日
特表 2012-531055	物体視野を像視野に結像するための結像光学系及び物体視野を照明するための照明光学系	2012年12月 6日
特開 2012-234214	反射屈折投影対物レンズ	2012年11月29日
特開 2012-234827	粒子光学部品	2012年11月29日	共同出願
特開 2012-216826	パターンの重ね合わせによる結像光学系の測定	2012年11月 8日
特開 2012-212910	取扱い可能な絞り又は開口絞りを備えたマイクロリソグラフィー投影光学系	2012年11月 1日
特開 2012-212884	調整機能を最適化した投影露光装置	2012年11月 1日
特開 2012-212890	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム	2012年11月 1日

89 件中 1-15 件を表示

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2012-256921 2012-533871 2012-256944 2012-533095 2012-533180 2012-248849 2012-532467 2012-244184 2012-531055 2012-234214 2012-234827 2012-216826 2012-212910 2012-212884 2012-212890

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