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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2017-538966	ミラー、特にマイクロリソグラフィ用のコレクタミラー	2017年12月28日
特表 2017-539020	ピエゾ位置決め装置及び当該ピエゾ位置決め装置による位置決め方法	2017年12月28日
特表 2017-538138	真空直線フィードスルー及び当該真空直線フィードスルーを有する真空システム	2017年12月21日
特表 2017-538164	熱伝導部品を有する光学アセンブリ	2017年12月21日
特表 2017-538165	リソグラフィ装置用のミラー及びリソグラフィ装置	2017年12月21日
特表 2017-536579	少なくとも１つのマニピュレータを有する投影露光装置	2017年12月 7日
特表 2017-535801	ミラー機構及びミラー機構から熱流を放散する方法	2017年11月30日
特表 2017-535821	複数の個々に制御可能な書込ヘッドを含むリソグラフィ装置	2017年11月30日
特表 2017-534902	投影リソグラフィのための照明光学ユニット及びそのための中空導波管構成要素	2017年11月24日
特開 2017-201304	フォトリソグラフィマスクまたはウェハの欠陥を分析するためのデバイスおよび方法	2017年11月 9日
特開 2017-201430	マイクロリソグラフィ投影対物レンズ	2017年11月 9日
特開 2017-199031	瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法	2017年11月 2日
特開 2017-194697	マイクロリソグラフィ用の投影対物系	2017年10月26日
特表 2017-531206	セラミックコンポーネント間の圧力嵌め接続用の接続機構	2017年10月19日
特表 2017-529560	真空システム、特にＥＵＶリソグラフィシステム、及び光学素子	2017年10月 5日

80 件中 1-15 件を表示

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2017-538966 2017-539020 2017-538138 2017-538164 2017-538165 2017-536579 2017-535801 2017-535821 2017-534902 2017-201304 2017-201430 2017-199031 2017-194697 2017-531206 2017-529560

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