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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2016-541021	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系	2016年12月28日
特開 2016-224460	カタディオプトリック投影対物系	2016年12月28日
特表 2016-540247	光学装置用支持装置、光学装置及びリソグラフィーシステム	2016年12月22日
特開 2016-218066	マスクの表面を検査するための装置および方法	2016年12月22日
特表 2016-539368	反射光学素子及びマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2016年12月15日
特表 2016-539386	リソグラフィーシステムの少なくとも１つのミラーの傾斜角を測定する装置及び方法	2016年12月15日
特開 2016-212436	絞りを有する投影対物系	2016年12月15日
特表 2016-538576	光学結像系の光学特性を測定する方法及び装置	2016年12月 8日
特表 2016-537681	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明系	2016年12月 1日
特開 2016-200818	投影レンズの少なくとも１つのマニピュレータを制御するための制御デバイス	2016年12月 1日
特表 2016-536653	マイクロリソグラフィー投影露光装置用のミラー	2016年11月24日
特開 2016-197245	ファセットミラーデバイス	2016年11月24日
特表 2016-535313	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学系及び照明系	2016年11月10日
特表 2016-535314	照明系	2016年11月10日
特開 2016-191936	変形可能な光学素子を有する光学装置	2016年11月10日

104 件中 1-15 件を表示

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2016-541021 2016-224460 2016-540247 2016-218066 2016-539368 2016-539386 2016-212436 2016-538576 2016-537681 2016-200818 2016-536653 2016-197245 2016-535313 2016-535314 2016-191936

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