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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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 ■ 2016年 出願公開件数ランキング    第354位 102件 (上昇2015年:第403位 82件)

 ■ 2016年 特許取得件数ランキング    第337位 92件 (上昇2015年:第402位 64件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-224460 カタディオプトリック投影対物系 2016年12月28日
特表 2016-541021 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2016年12月28日
特開 2016-218066 マスクの表面を検査するための装置および方法 2016年12月22日
特表 2016-540247 光学装置用支持装置、光学装置及びリソグラフィーシステム 2016年12月22日
特開 2016-212436 絞りを有する投影対物系 2016年12月15日
特表 2016-539386 リソグラフィーシステムの少なくとも1つのミラーの傾斜角を測定する装置及び方法 2016年12月15日
特表 2016-539368 反射光学素子及びマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 2016年12月15日
特表 2016-538576 光学結像系の光学特性を測定する方法及び装置 2016年12月 8日
特開 2016-200818 投影レンズの少なくとも1つのマニピュレータを制御するための制御デバイス 2016年12月 1日
特表 2016-537681 EUV投影リソグラフィのための照明系 2016年12月 1日
特開 2016-197245 ファセットミラーデバイス 2016年11月24日
特表 2016-536653 マイクロリソグラフィー投影露光装置用のミラー 2016年11月24日
特表 2016-535313 EUV投影リソグラフィのための照明光学系及び照明系 2016年11月10日
特表 2016-535314 照明系 2016年11月10日
特開 2016-191936 変形可能な光学素子を有する光学装置 2016年11月10日

104 件中 1-15 件を表示

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2016-224460 2016-541021 2016-218066 2016-540247 2016-212436 2016-539386 2016-539368 2016-538576 2016-200818 2016-537681 2016-197245 2016-536653 2016-535313 2016-535314 2016-191936

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