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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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 ■ 2011年 出願公開件数ランキング     件 (変わらず2010年: 件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特表 2011-530820 低汚染光学装置 2011年12月22日
特開 2011-248366 絞りを有する投影対物系 2011年12月 8日
特開 2011-242770 光学構成体用の装置及び光学構成体の光学素子を位置決めする方法 2011年12月 1日
特開 2011-238959 液浸リソグラフィー用投影対物レンズ 2011年11月24日
特表 2011-528856 マイクロリソグラフィ投影露光装置における偏光分布を修正する方法及びマイクロリソグラフィ投影露光装置 2011年11月24日
特表 2011-528857 アクチュエータおよび投影露光システム 2011年11月24日
特開 2011-232751 調整可能な光学素子を有する光学モジュール 2011年11月17日
特開 2011-228699 反射光学要素、投影系及び投影露光装置 2011年11月10日
特表 2011-528173 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2011年11月10日
特表 2011-528181 変形可能な光学素子を有する光学装置 2011年11月10日
特表 2011-528128 結像光学系 2011年11月10日
特開 2011-228698 投影リソグラフィ用の照明光学系 2011年11月10日
特表 2011-527416 反射性光学素子およびその製造方法 2011年10月27日
特開 2011-211201 投影照明システムの光学装置用の位置合わせ方法 2011年10月20日
特表 2011-526735 結像誤差の決定を行う光学結像装置 2011年10月13日

67 件中 1-15 件を表示

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2011-530820 2011-248366 2011-242770 2011-238959 2011-528856 2011-528857 2011-232751 2011-228699 2011-528173 2011-528181 2011-528128 2011-228698 2011-527416 2011-211201 2011-526735

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