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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2019-535030	ＥＵＶリソグラフィ用ミラーアレイのコンポーネント	2019年12月 5日
特表 2019-533835	微細構造化部品のマイクロリソグラフィ製造のための方法	2019年11月21日
特表 2019-533813	走査プローブ顕微鏡及び走査プローブ顕微鏡の走査速度をステップイン走査モードで増大させる方法	2019年11月21日
特表 2019-532350	光学系及び光学系を用いてマスク欠陥を補正する方法	2019年11月 7日
特開 2019-179237	リソグラフィマスクのフォーカス位置を決定する方法及びそのような方法を実行するための計測系	2019年10月17日
特表 2019-530024	マイクロリソグラフィのための投影露光方法および投影露光装置	2019年10月17日
特開 2019-164351	マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置	2019年 9月26日
特開 2019-164339	リソグラフィマスクを測定するための結像光学ユニットの結像収差寄与を決定する方法	2019年 9月26日
特表 2019-527380	ＥＵＶ投影リソグラフィのための投影光学ユニット	2019年 9月26日
特表 2019-526828	光学系、リソグラフィ装置および方法	2019年 9月19日
特開 2019-159317	線幅の変動に対するリソグラフィマスクの構造非依存寄与を決定する方法	2019年 9月19日
特開 2019-144569	反射光学素子及びマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2019年 8月29日
特表 2019-523453	ＥＵＶリソグラフィ用の反射光学素子	2019年 8月22日
特表 2019-523437	リソグラフィ装置及びリソグラフィ投影装置	2019年 8月22日
特表 2019-522819	マイクロリソグラフィ照明ユニット	2019年 8月15日

46 件中 1-15 件を表示

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2019-535030 2019-533835 2019-533813 2019-532350 2019-179237 2019-530024 2019-164351 2019-164339 2019-527380 2019-526828 2019-159317 2019-144569 2019-523453 2019-523437 2019-522819

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