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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2024-155892	ＥＵＶマイクロリソグラフィ用のフォトマスクを検査するための測定デバイスおよび方法	2024年10月31日
特開 2024-155893	ＥＵＶマイクロリソグラフィ用のフォトマスクを検査するための測定装置および方法	2024年10月31日
特開 2024-153619	ＥＵＶリソグラフィ用マスクを検査するためのシステムおよび方法	2024年10月29日
特開 2024-153689	リソグラフィマスクの欠陥を修復する方法および装置	2024年10月29日
特開 2024-150447	破壊的干渉によって少なくとも１つの目標波長を抑制するための光回折構成要素	2024年10月23日
特開 2024-150511	測定又は検査装置及び表面を測定又は検査する方法	2024年10月23日
特開 2024-150524	ＶＵＶ放射線を反射する光学素子及び光学装置	2024年10月23日
特表 2024-538115	ＥＵＶマルチミラー装置	2024年10月18日
特開 2024-147572	マイクロリソグラフィフォトマスクの欠陥の粒子ビーム誘起処理のための方法	2024年10月16日
特表 2024-537351	試料を測定するための方法および本方法を実施する顕微鏡	2024年10月10日
特表 2024-535801	冷却流路を有する光学素子、及び光学装置	2024年10月 2日
特表 2024-534800	Ｘ線照射された物体を結像する（ｉｍａｇｅ）結像光学機構	2024年 9月26日
特表 2024-535045	ＤＵＶリソグラフィシステム	2024年 9月26日
特開 2024-127861	測定チャンバにおける配置のためのセンサー構成体、マスクを適切なものにするための装置、およびマスクを適切なものにするための方法	2024年 9月20日
特表 2024-533994	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明装置で特に用いる光学コンポーネント群	2024年 9月18日

54 件中 1-15 件を表示

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2024-155892 2024-155893 2024-153619 2024-153689 2024-150447 2024-150511 2024-150524 2024-538115 2024-147572 2024-537351 2024-535801 2024-534800 2024-535045 2024-127861 2024-533994

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