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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第561位 54件
(2021年:第1005位 27件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第709位 35件
(2021年:第862位 24件)
(ランキング更新日:2025年4月15日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2022-553926 | 光学素子の表面形状を評価する方法及び装置 | 2022年12月27日 | |
特表 2022-553194 | EUVコレクタミラー | 2022年12月22日 | |
特表 2022-553197 | 構造化物体の表面にわたる測定光波長の測定光の光学的位相差を決定するための方法 | 2022年12月22日 | |
特表 2022-552984 | 計測光に関する物体の反射率を計測するための方法およびその方法を実行するための計量システム | 2022年12月21日 | |
特開 2022-184816 | 測定される入射瞳内で照明光によって照明されたときの光学系の結像品質を決定するための方法 | 2022年12月13日 | |
特開 2022-183107 | 測定される瞳内で照明光によって照明されるときの光学系の結像品質を決定するための方法 | 2022年12月 8日 | |
特開 2022-183129 | マイクロリソグラフィ微細構造化構成要素の像を解析する方法および装置 | 2022年12月 8日 | |
特表 2022-551063 | 表面形状を干渉測定する計測装置 | 2022年12月 7日 | |
特開 2022-176170 | 位置合わせ誤差を決定するための方法 | 2022年11月25日 | |
特開 2022-176242 | 物体視野を像視野内に結像するための投影光学ユニット及びそのような投影光学ユニットを含む投影露光装置 | 2022年11月25日 | |
特表 2022-548962 | 投影露光装置の照明光学ユニットのファセットミラー | 2022年11月22日 | |
特表 2022-548544 | 多走査電子顕微鏡法を使用したウェーハアライメント | 2022年11月21日 | |
特表 2022-547464 | ミラーアセンブリ及びこれを備えた光学アセンブリ | 2022年11月14日 | |
特開 2022-169487 | リソグラフィマスクへの測定光衝突に対する、波長依存測定光反射率の効果、および測定光の偏光の効果を測定する方法 | 2022年11月 9日 | |
特表 2022-546442 | 光学素子及びEUVリソグラフィシステム | 2022年11月 4日 |
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2022-553926 2022-553194 2022-553197 2022-552984 2022-184816 2022-183107 2022-183129 2022-551063 2022-176170 2022-176242 2022-548962 2022-548544 2022-547464 2022-169487 2022-546442
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