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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2022-553926	光学素子の表面形状を評価する方法及び装置	2022年12月27日
特表 2022-553197	構造化物体の表面にわたる測定光波長の測定光の光学的位相差を決定するための方法	2022年12月22日
特表 2022-553194	ＥＵＶコレクタミラー	2022年12月22日
特表 2022-552984	計測光に関する物体の反射率を計測するための方法およびその方法を実行するための計量システム	2022年12月21日
特開 2022-184816	測定される入射瞳内で照明光によって照明されたときの光学系の結像品質を決定するための方法	2022年12月13日
特開 2022-183129	マイクロリソグラフィ微細構造化構成要素の像を解析する方法および装置	2022年12月 8日
特開 2022-183107	測定される瞳内で照明光によって照明されるときの光学系の結像品質を決定するための方法	2022年12月 8日
特表 2022-551063	表面形状を干渉測定する計測装置	2022年12月 7日
特開 2022-176242	物体視野を像視野内に結像するための投影光学ユニット及びそのような投影光学ユニットを含む投影露光装置	2022年11月25日
特開 2022-176170	位置合わせ誤差を決定するための方法	2022年11月25日
特表 2022-548962	投影露光装置の照明光学ユニットのファセットミラー	2022年11月22日
特表 2022-548544	多走査電子顕微鏡法を使用したウェーハアライメント	2022年11月21日
特表 2022-547464	ミラーアセンブリ及びこれを備えた光学アセンブリ	2022年11月14日
特開 2022-169487	リソグラフィマスクへの測定光衝突に対する、波長依存測定光反射率の効果、および測定光の偏光の効果を測定する方法	2022年11月 9日
特表 2022-546442	光学素子及びＥＵＶリソグラフィシステム	2022年11月 4日

54 件中 1-15 件を表示

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2022-553926 2022-553197 2022-553194 2022-552984 2022-184816 2022-183129 2022-183107 2022-551063 2022-176242 2022-176170 2022-548962 2022-548544 2022-547464 2022-169487 2022-546442

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