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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6626833	光学構成要素	2019年12月25日
特許 6625532	光学アセンブリ	2019年12月25日
特許 6625120	セラミックコンポーネント間の圧力嵌め接続用の接続機構	2019年12月25日
特許 6623156	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明系	2019年12月18日
特許 6622116	結像誤差の決定を行う光学結像装置	2019年12月18日
特許 6621915	反射光学素子	2019年12月18日
特許 6620143	真空システム、特にＥＵＶリソグラフィシステム、及び光学素子	2019年12月11日
特許 6620088	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明系及び照明光学ユニット	2019年12月11日
特許 6620147	真空直線フィードスルー及び当該真空直線フィードスルーを有する真空システム	2019年12月11日
特許 6612439	圧電装置を備える光学結像装置	2019年11月27日
特許 6609307	ＥＵＶリソグラフィ用マスク、ＥＵＶリソグラフィ装置、及びＤＵＶ放射線に起因するコントラスト比を求める方法	2019年11月20日
特許 6605736	波面解析のデバイス及び方法	2019年11月13日
特許 6600312	ビーム伝播カメラ及び光ビーム解析の方法	2019年10月30日
特許 6596419	光学装置用支持装置、光学装置及びリソグラフィーシステム	2019年10月23日
特許 6590829	マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー	2019年10月16日

69 件中 1-15 件を表示

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6626833 6625532 6625120 6623156 6622116 6621915 6620143 6620088 6620147 6612439 6609307 6605736 6600312 6596419 6590829

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