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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2019年 出願公開件数ランキング    第696位 45件 下降2018年:第645位 45件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第385位 68件 下降2018年:第367位 75件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6625120 セラミックコンポーネント間の圧力嵌め接続用の接続機構 2019年12月25日
特許 6625532 光学アセンブリ 2019年12月25日
特許 6626833 光学構成要素 2019年12月25日
特許 6621915 反射光学素子 2019年12月18日
特許 6622116 結像誤差の決定を行う光学結像装置 2019年12月18日
特許 6623156 EUV投影リソグラフィのための照明系 2019年12月18日
特許 6620088 EUV投影リソグラフィのための照明系及び照明光学ユニット 2019年12月11日
特許 6620143 真空システム、特にEUVリソグラフィシステム、及び光学素子 2019年12月11日
特許 6620147 真空直線フィードスルー及び当該真空直線フィードスルーを有する真空システム 2019年12月11日
特許 6612439 圧電装置を備える光学結像装置 2019年11月27日
特許 6609307 EUVリソグラフィ用マスク、EUVリソグラフィ装置、及びDUV放射線に起因するコントラスト比を求める方法 2019年11月20日
特許 6605736 波面解析のデバイス及び方法 2019年11月13日
特許 6600312 ビーム伝播カメラ及び光ビーム解析の方法 2019年10月30日
特許 6596419 光学装置用支持装置、光学装置及びリソグラフィーシステム 2019年10月23日
特許 6590829 マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー 2019年10月16日

69 件中 1-15 件を表示

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6625120 6625532 6626833 6621915 6622116 6623156 6620088 6620143 6620147 6612439 6609307 6605736 6600312 6596419 6590829

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