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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2024年 出願公開件数ランキング    第220位 162件 上昇2023年:第242位 151件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第257位 124件 下降2023年:第238位 146件)

(ランキング更新日:2025年1月8日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7606504 ペリクル膜 2024年12月25日
特許 7606574 EUVリソグラフィのためのペリクル 2024年12月25日
特許 7598987 EUVチャンバにおける構造物表面の洗浄 2024年12月12日
特許 7597495 荷電粒子システムにおける流体移送システム 2024年12月10日
特許 7597868 多重荷電粒子ビーム装置 2024年12月10日
特許 7595549 インプリントリソグラフィ 2024年12月 6日
特許 7594586 流体ハンドリングシステム、方法及びリソグラフィ装置 2024年12月 4日
特許 7584593 インプリントリソグラフィ 2024年11月15日
特許 7583868 ペリクルフレーム及びペリクルアセンブリ 2024年11月14日
特許 7581267 ビーム画像システムのためのスイッチマトリクス設計 2024年11月12日
特許 7581459 EUVリソグラフィ用のメンブレン 2024年11月12日
特許 7580439 EUVリソグラフィのための膜 2024年11月11日
特許 7580476 アパーチャ本体、フラッドコラム、及び荷電粒子ツール 2024年11月11日
特許 7577843 基板ホルダ、基板ホルダを備えた搬送システム、及びリソグラフィ装置 2024年11月 5日
特許 7572492 EUVペリクル 2024年10月23日

128 件中 1-15 件を表示

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7606504 7606574 7598987 7597495 7597868 7595549 7594586 7584593 7583868 7581267 7581459 7580439 7580476 7577843 7572492

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