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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第220位 162件
(
2023年:第242位 151件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第257位 124件
(
2023年:第238位 146件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7606574 | EUVリソグラフィのためのペリクル | 2024年12月25日 | |
| 特許 7606504 | ペリクル膜 | 2024年12月25日 | |
| 特許 7598987 | EUVチャンバにおける構造物表面の洗浄 | 2024年12月12日 | |
| 特許 7597868 | 多重荷電粒子ビーム装置 | 2024年12月10日 | |
| 特許 7597495 | 荷電粒子システムにおける流体移送システム | 2024年12月10日 | |
| 特許 7595549 | インプリントリソグラフィ | 2024年12月 6日 | |
| 特許 7594586 | 流体ハンドリングシステム、方法及びリソグラフィ装置 | 2024年12月 4日 | |
| 特許 7584593 | インプリントリソグラフィ | 2024年11月15日 | |
| 特許 7583868 | ペリクルフレーム及びペリクルアセンブリ | 2024年11月14日 | |
| 特許 7581459 | EUVリソグラフィ用のメンブレン | 2024年11月12日 | |
| 特許 7581267 | ビーム画像システムのためのスイッチマトリクス設計 | 2024年11月12日 | |
| 特許 7580476 | アパーチャ本体、フラッドコラム、及び荷電粒子ツール | 2024年11月11日 | |
| 特許 7580439 | EUVリソグラフィのための膜 | 2024年11月11日 | |
| 特許 7577843 | 基板ホルダ、基板ホルダを備えた搬送システム、及びリソグラフィ装置 | 2024年11月 5日 | |
| 特許 7572492 | EUVペリクル | 2024年10月23日 |
128 件中 1-15 件を表示
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7606574 7606504 7598987 7597868 7597495 7595549 7594586 7584593 7583868 7581459 7581267 7580476 7580439 7577843 7572492
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