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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2017年 出願公開件数ランキング    第379位 113件 上昇2016年:第396位 90件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第305位 95件 上昇2016年:第324位 97件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2017-526947 極端紫外光源 2017年 9月14日
特表 2017-526952 調節システム及び調節システムを備えるリソグラフィ装置 2017年 9月14日
特表 2017-526955 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2017年 9月14日
特表 2017-526973 メトロロジー方法、ターゲット、及び基板 2017年 9月14日
特開 2017-161943 リソグラフィ装置 2017年 9月14日
特表 2017-524960 リソグラフィ装置及び露光方法 2017年 8月31日
特表 2017-524963 計算的ウェーハ検査 2017年 8月31日
特表 2017-524964 対象物位置決めシステム、制御システム、リソグラフィ装置、対象物位置決め方法およびデバイス製造方法 2017年 8月31日
特表 2017-524973 リソグラフィ方法及び装置 2017年 8月31日
特表 2017-524974 リソグラフィ装置、基板を搬送する方法、及びデバイス製造方法 2017年 8月31日
特表 2017-525334 アクチュエータ、位置決め装置、リソグラフィ装置、およびアクチュエータの製造方法 2017年 8月31日
特表 2017-524150 リソグラフィ装置、デバイス製造方法、並びに関連付けられたデータ処理装置及びコンピュータプログラム製品 2017年 8月24日
特表 2017-524153 リソグラフィ装置及び物体位置決めシステム 2017年 8月24日
特表 2017-523449 リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置を製造する方法 2017年 8月17日
特表 2017-523477 アライメントセンサおよびリソグラフィ装置 2017年 8月17日

115 件中 31-45 件を表示

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2017-526947 2017-526952 2017-526955 2017-526973 2017-161943 2017-524960 2017-524963 2017-524964 2017-524973 2017-524974 2017-525334 2017-524150 2017-524153 2017-523449 2017-523477

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