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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第379位 113件
(2016年:第396位 90件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第305位 95件
(2016年:第324位 97件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2017-526947 | 極端紫外光源 | 2017年 9月14日 | |
特表 2017-526952 | 調節システム及び調節システムを備えるリソグラフィ装置 | 2017年 9月14日 | |
特表 2017-526955 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2017年 9月14日 | |
特表 2017-526973 | メトロロジー方法、ターゲット、及び基板 | 2017年 9月14日 | |
特開 2017-161943 | リソグラフィ装置 | 2017年 9月14日 | |
特表 2017-524960 | リソグラフィ装置及び露光方法 | 2017年 8月31日 | |
特表 2017-524963 | 計算的ウェーハ検査 | 2017年 8月31日 | |
特表 2017-524964 | 対象物位置決めシステム、制御システム、リソグラフィ装置、対象物位置決め方法およびデバイス製造方法 | 2017年 8月31日 | |
特表 2017-524973 | リソグラフィ方法及び装置 | 2017年 8月31日 | |
特表 2017-524974 | リソグラフィ装置、基板を搬送する方法、及びデバイス製造方法 | 2017年 8月31日 | |
特表 2017-525334 | アクチュエータ、位置決め装置、リソグラフィ装置、およびアクチュエータの製造方法 | 2017年 8月31日 | |
特表 2017-524150 | リソグラフィ装置、デバイス製造方法、並びに関連付けられたデータ処理装置及びコンピュータプログラム製品 | 2017年 8月24日 | |
特表 2017-524153 | リソグラフィ装置及び物体位置決めシステム | 2017年 8月24日 | |
特表 2017-523449 | リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置を製造する方法 | 2017年 8月17日 | |
特表 2017-523477 | アライメントセンサおよびリソグラフィ装置 | 2017年 8月17日 |
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2017-526947 2017-526952 2017-526955 2017-526973 2017-161943 2017-524960 2017-524963 2017-524964 2017-524973 2017-524974 2017-525334 2017-524150 2017-524153 2017-523449 2017-523477
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6月16日(月) - 東京 大田
6月17日(火) -
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6月17日(火) -
6月17日(火) -
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6月17日(火) -
6月18日(水) -
6月18日(水) -
6月18日(水) -
6月18日(水) -
6月19日(木) - 大阪 大阪市
6月19日(木) -
6月20日(金) - 東京 千代田区
6月20日(金) - 東京 千代田区
6月20日(金) -
6月20日(金) - 愛知 名古屋市
6月16日(月) - 東京 大田
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