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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2017年 出願公開件数ランキング    第379位 113件 上昇2016年:第396位 90件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第305位 95件 上昇2016年:第324位 97件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-126092 リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造 2017年 7月20日
特表 2017-519248 リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置を用いてデバイスを製造する方法 2017年 7月13日
特表 2017-518523 物体を洗浄するための装置 2017年 7月 6日
特表 2017-518533 メトロロジターゲットの設計方法、メトロロジターゲットを有する基板、オーバーレイの測定方法、およびデバイス製造方法 2017年 7月 6日
特表 2017-518537 リソグラフィ装置、対象物位置決めシステムおよびデバイス製造方法 2017年 7月 6日
特表 2017-517757 制御システム、位置決めシステム、リソグラフィ装置、制御方法、デバイス製造方法及び制御プログラム 2017年 6月29日
特開 2017-116967 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2017年 6月29日
特表 2017-517021 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2017年 6月22日
特表 2017-517032 露光プロセスにおける露光誤差を補償するための方法 2017年 6月22日
特表 2017-516124 パターニングデバイスの変型および/またはその位置の変化の推測 2017年 6月15日
特表 2017-516138 メトロロジーに用いられる基板及びパターニングデバイス、メトロロジー方法、及びデバイス製造方法 2017年 6月15日
特表 2017-516288 極端紫外光源のための適応レーザシステム 2017年 6月15日
特表 2017-515136 RFプラズマ電界を使用したEUV光学部品のアクティブ洗浄装置および方法 2017年 6月 8日
特表 2017-515142 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2017年 6月 8日
特表 2017-515146 リソグラフィ装置のためのサポートテーブル、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2017年 6月 8日

115 件中 61-75 件を表示

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2017-126092 2017-519248 2017-518523 2017-518533 2017-518537 2017-517757 2017-116967 2017-517021 2017-517032 2017-516124 2017-516138 2017-516288 2017-515136 2017-515142 2017-515146

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