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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2017年 出願公開件数ランキング    第379位 113件 上昇2016年:第396位 90件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第305位 95件 上昇2016年:第324位 97件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2017-523478 リソグラフィ装置及びデバイスを製造する方法 2017年 8月17日
特開 2017-143295 インプリントリソグラフィ 2017年 8月17日
特表 2017-522582 パルス光ビームのスペクトル特徴推定 2017年 8月10日
特表 2017-522590 リソグラフィ装置内で用いられる膜及びそのような膜を含むリソグラフィ装置 2017年 8月10日
特表 2017-522600 流体ハンドリング構造、液浸リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2017年 8月10日
特表 2017-522618 液浸リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2017年 8月10日
特表 2017-521687 リソグラフィ装置、デバイス製造方法及び物体をクランプする方法 2017年 8月 3日
特表 2017-521697 リソグラフィ装置及び方法 2017年 8月 3日
特表 2017-521709 線量測定方法、検査装置、パターニングデバイス、基板、およびデバイス製造方法 2017年 8月 3日
特表 2017-520792 リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置を製造する方法 2017年 7月27日
特表 2017-520797 リソグラフィ装置およびリソグラフィ方法 2017年 7月27日
特表 2017-520799 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2017年 7月27日
特表 2017-520010 クリーニング装置及び関連する低圧チャンバ装置 2017年 7月20日
特表 2017-520028 リソグラフィ装置 2017年 7月20日
特開 2017-126086 リソグラフィ装置、スペクトル純度フィルタおよびデバイス製造方法 2017年 7月20日

115 件中 46-60 件を表示

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2017-523478 2017-143295 2017-522582 2017-522590 2017-522600 2017-522618 2017-521687 2017-521697 2017-521709 2017-520792 2017-520797 2017-520799 2017-520010 2017-520028 2017-126086

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