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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2018年 出願公開件数ランキング    第314位 124件 上昇2017年:第379位 113件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第281位 102件 上昇2017年:第305位 95件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2018-521354 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2018年 8月 2日
特表 2018-521444 測定装置及び方法 2018年 8月 2日
特表 2018-520374 リソグラフィ方法及び装置 2018年 7月26日
特表 2018-520378 基板サポート、基板の上面の非平坦性を補償する方法、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2018年 7月26日
特表 2018-520381 リソグラフィ装置、投影システム、最終レンズ素子、液体制御部材及びデバイス製造方法 2018年 7月26日
特表 2018-520387 リソグラフィ装置におけるパターニングデバイス冷却システム 2018年 7月26日
特開 2018-116300 リソグラフィ方法および装置 2018年 7月26日
特開 2018-117153 基板ホルダ及び基板ホルダ製造方法 2018年 7月26日
特表 2018-519543 相互レシピ整合性に基づくレシピ選択 2018年 7月19日
特表 2018-519547 膜アセンブリを製造するための方法 2018年 7月19日
特表 2018-519551 リソグラフィ装置及び方法 2018年 7月19日
特表 2018-518701 リソグラフィ装置及び基板をロードするための方法 2018年 7月12日
特表 2018-517920 メトロロジ方法及び装置、コンピュータプログラム、並びにリソグラフィシステム 2018年 7月 5日
特表 2018-517923 リソグラフィ装置及びリソグラフィプロセスにおける方法 2018年 7月 5日
特表 2018-517933 アライメントシステム 2018年 7月 5日

128 件中 76-90 件を表示

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2018-521354 2018-521444 2018-520374 2018-520378 2018-520381 2018-520387 2018-116300 2018-117153 2018-519543 2018-519547 2018-519551 2018-518701 2018-517920 2018-517923 2018-517933

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