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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第314位 124件
(2017年:第379位 113件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第281位 102件
(2017年:第305位 95件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2018-517177 | 検査装置、検査方法、リソグラフィ装置、パターニングデバイス及び製造方法 | 2018年 6月28日 | |
特表 2018-515808 | サポート装置、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2018年 6月14日 | |
特開 2018-92193 | 基板ホルダ、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、及び基板ホルダ製造方法 | 2018年 6月14日 | |
特開 2018-92199 | リソグラフィ装置 | 2018年 6月14日 | |
特表 2018-514810 | リソグラフィ装置 | 2018年 6月 7日 | |
特表 2018-513989 | 放射センサ装置 | 2018年 5月31日 | |
特表 2018-513997 | リソグラフィ方法及び装置 | 2018年 5月31日 | |
特表 2018-513395 | マスクアセンブリ及び関連する方法 | 2018年 5月24日 | |
特表 2018-513410 | リソグラフィ装置及びリソグラフィ投影方法 | 2018年 5月24日 | |
特表 2018-513419 | リソグラフィ装置 | 2018年 5月24日 | |
特表 2018-513421 | リソグラフィ装置 | 2018年 5月24日 | |
特表 2018-512615 | リソグラフィ装置、及びデバイスを製造する方法 | 2018年 5月17日 | |
特表 2018-512723 | 放射源 | 2018年 5月17日 | |
特開 2018-67022 | パターニングデバイス支持体、リソグラフィ装置及びパターニングデバイスの温度制御方法 | 2018年 4月26日 | |
特表 2018-511081 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2018年 4月19日 |
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2018-517177 2018-515808 2018-92193 2018-92199 2018-514810 2018-513989 2018-513997 2018-513395 2018-513410 2018-513419 2018-513421 2018-512615 2018-512723 2018-67022 2018-511081
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