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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第314位 124件 (2017年:第379位 113件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第281位 102件 (2017年:第305位 95件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2018-60234 | リソグラフィ装置および方法 | 2018年 4月12日 | |
特表 2018-509609 | メトロロジ方法、メトロロジ装置、及びデバイス製造装置 | 2018年 4月 5日 | |
特表 2018-509651 | レジスト変形を決定するための方法 | 2018年 4月 5日 | |
特表 2018-508822 | 放射システム | 2018年 3月29日 | |
特表 2018-508829 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2018年 3月29日 | |
特表 2018-508049 | リソグラフィ方法およびリソグラフィ装置 | 2018年 3月22日 | |
特開 2018-46304 | EUV光源内のシードレーザをブラッグAOMで保護するためのシステム及び方法 | 2018年 3月22日 | |
特表 2018-507437 | 放射源 | 2018年 3月15日 | |
特表 2018-507438 | メトロロジの方法及び装置、コンピュータプログラム、並びにリソグラフィシステム | 2018年 3月15日 | |
特開 2018-41110 | レーザ生成プラズマEUV光源 | 2018年 3月15日 | |
特表 2018-506164 | レーザシステム内の利得エレメントを隔離するためのシステム及び方法 | 2018年 3月 1日 | |
特開 2018-32047 | リソグラフィ装置 | 2018年 3月 1日 | |
特開 2018-25823 | リソグラフィパターニングプロセスおよび同プロセス内で使用するレジスト | 2018年 2月15日 | |
特開 2018-22196 | リソグラフィ装置用の汚染トラップ | 2018年 2月 8日 | |
特表 2018-502315 | 極端紫外線光源のための可変半径ミラーダイクロイックビームスプリッタモジュール | 2018年 1月25日 |
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2018-60234 2018-509609 2018-509651 2018-508822 2018-508829 2018-508049 2018-46304 2018-507437 2018-507438 2018-41110 2018-506164 2018-32047 2018-25823 2018-22196 2018-502315
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11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月28日(木) - 東京 港区
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
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12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月4日(水) -
12月4日(水) -
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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