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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第286位 138件 (2019年:第272位 151件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第237位 122件 (2019年:第255位 108件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2020-535631 | 複数の荷電粒子ビームを用いてサンプルを検査する方法 | 2020年12月 3日 | |
特開 2020-194178 | 極端紫外光源におけるターゲット膨張率制御 | 2020年12月 3日 | |
特開 2020-194185 | 基板支持部、リソグラフィ装置、およびローディング方法 | 2020年12月 3日 | |
特表 2020-534557 | フォトリソグラフィシステムの圧力容器内のシールを保護するための方法及び装置 | 2020年11月26日 | |
特表 2020-534558 | パターニングプロセス制御方法、デバイス製造方法 | 2020年11月26日 | |
特表 2020-534559 | 放射源 | 2020年11月26日 | |
特表 2020-534562 | 放射源 | 2020年11月26日 | |
特表 2020-534580 | パターニングプロセスパラメータを決定する方法 | 2020年11月26日 | |
特表 2020-534638 | 荷電粒子ビーム装置及びその装置を動作させるシステム及び方法 | 2020年11月26日 | |
特表 2020-534640 | ビーム画像システムのためのスイッチマトリクス設計 | 2020年11月26日 | |
特表 2020-534641 | フィールドプログラマブル検出器アレイ | 2020年11月26日 | |
特表 2020-534674 | リソグラフィ装置のための制御システム | 2020年11月26日 | |
特開 2020-190742 | リソグラフィ装置 | 2020年11月26日 | |
特表 2020-533609 | リソグラフィプロセスにおける計測 | 2020年11月19日 | |
特表 2020-533621 | オーバーレイを推定するための方法 | 2020年11月19日 |
140 件中 16-30 件を表示
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2020-535631 2020-194178 2020-194185 2020-534557 2020-534558 2020-534559 2020-534562 2020-534580 2020-534638 2020-534640 2020-534641 2020-534674 2020-190742 2020-533609 2020-533621
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11月22日(金) -
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11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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