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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第286位 138件 (2019年:第272位 151件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第237位 122件 (2019年:第255位 108件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2020-524292 | 極端紫外線光源のための供給システム | 2020年 8月13日 | |
特表 2020-524294 | センサ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 | 2020年 8月13日 | |
特開 2020-122973 | RFプラズマ電界を使用したEUV光学部品のアクティブ洗浄装置および方法 | 2020年 8月13日 | |
特開 2020-122975 | マスクアセンブリ及び関連する方法 | 2020年 8月13日 | |
特表 2020-523618 | アクチュエータ、リニアモータ及びリソグラフィ装置 | 2020年 8月 6日 | |
特表 2020-523622 | ペリクル及びペリクルアセンブリ | 2020年 8月 6日 | |
特表 2020-523624 | リソグラフィ装置及びリソグラフィ方法 | 2020年 8月 6日 | |
特開 2020-118983 | リソグラフィ装置用基板テーブル、および基板の装填方法 | 2020年 8月 6日 | |
特表 2020-522727 | アライメントの測定のためのシステム及び方法 | 2020年 7月30日 | |
特表 2020-522729 | アライメント測定システム | 2020年 7月30日 | |
特表 2020-522732 | サポートテーブルから物体をアンロードする方法 | 2020年 7月30日 | |
特開 2020-115237 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2020年 7月30日 | |
特表 2020-521998 | 放射源 | 2020年 7月27日 | |
特表 2020-522020 | パーティクル除去装置および関連システム | 2020年 7月27日 | |
特開 2020-112827 | メトロロジー方法、ターゲット、及び基板 | 2020年 7月27日 |
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2020-524292 2020-524294 2020-122973 2020-122975 2020-523618 2020-523622 2020-523624 2020-118983 2020-522727 2020-522729 2020-522732 2020-115237 2020-521998 2020-522020 2020-112827
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11月22日(金) -
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11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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