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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第286位 138件 下降2019年:第272位 151件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第237位 122件 上昇2019年:第255位 108件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-524292 極端紫外線光源のための供給システム 2020年 8月13日
特表 2020-524294 センサ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2020年 8月13日
特開 2020-122973 RFプラズマ電界を使用したEUV光学部品のアクティブ洗浄装置および方法 2020年 8月13日
特開 2020-122975 マスクアセンブリ及び関連する方法 2020年 8月13日
特表 2020-523618 アクチュエータ、リニアモータ及びリソグラフィ装置 2020年 8月 6日
特表 2020-523622 ペリクル及びペリクルアセンブリ 2020年 8月 6日
特表 2020-523624 リソグラフィ装置及びリソグラフィ方法 2020年 8月 6日
特開 2020-118983 リソグラフィ装置用基板テーブル、および基板の装填方法 2020年 8月 6日
特表 2020-522727 アライメントの測定のためのシステム及び方法 2020年 7月30日
特表 2020-522729 アライメント測定システム 2020年 7月30日
特表 2020-522732 サポートテーブルから物体をアンロードする方法 2020年 7月30日
特開 2020-115237 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2020年 7月30日
特表 2020-521998 放射源 2020年 7月27日
特表 2020-522020 パーティクル除去装置および関連システム 2020年 7月27日
特開 2020-112827 メトロロジー方法、ターゲット、及び基板 2020年 7月27日

140 件中 61-75 件を表示

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2020-524292 2020-524294 2020-122973 2020-122975 2020-523618 2020-523622 2020-523624 2020-118983 2020-522727 2020-522729 2020-522732 2020-115237 2020-521998 2020-522020 2020-112827

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