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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第286位 138件 下降2019年:第272位 151件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第237位 122件 上昇2019年:第255位 108件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-521156 制御システム、制御システムの帯域幅を増加させる方法、及びリソグラフィ装置 2020年 7月16日
特表 2020-521157 基板及び基板を使用する方法 2020年 7月16日
特表 2020-521158 ターゲットを測定する方法、メトロロジ装置、リソグラフィセル及びターゲット 2020年 7月16日
特表 2020-521179 セットポイントジェネレータ、リソグラフィ装置、リソグラフィ装置の操作方法、及びデバイス製造方法 2020年 7月16日
特開 2020-106866 極端紫外線光源用のターゲット 2020年 7月 9日
特表 2020-519924 EUV光源においてデブリを制御するための装置及び方法 2020年 7月 2日
特表 2020-519927 メトロロジセンサ、リソグラフィ装置、及びデバイスを製造するための方法 2020年 7月 2日
特表 2020-519928 構造を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、及びデバイス製造方法 2020年 7月 2日
特表 2020-519932 製品ユニットの製造プロセスのシーケンスの最適化 2020年 7月 2日
特表 2020-519934 レーザ生成プラズマ源 2020年 7月 2日
特表 2020-518846 メトロロジセンサ、リソグラフィ装置、及びデバイスを製造するための方法 2020年 6月25日
特表 2020-518848 メトロロジパラメータ決定及びメトロロジレシピ選択 2020年 6月25日
特表 2020-517980 支持構造、方法、及びリソグラフィ装置 2020年 6月18日
特表 2020-518000 プロセスフィンガープリントのセットを維持する方法 2020年 6月18日
特表 2020-518092 荷電粒子の複数のビームを使用した装置 2020年 6月18日

140 件中 76-90 件を表示

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2020-521156 2020-521157 2020-521158 2020-521179 2020-106866 2020-519924 2020-519927 2020-519928 2020-519932 2020-519934 2020-518846 2020-518848 2020-517980 2020-518000 2020-518092

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