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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第286位 138件 下降2019年:第272位 151件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第237位 122件 上昇2019年:第255位 108件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-516942 リソグラフィ装置および冷却方法 2020年 6月11日
特表 2020-516948 測定方法、デバイス製造方法、計測装置およびリソグラフィシステム 2020年 6月11日
特表 2020-517058 荷電粒子源モジュール、荷電粒子源モジュールを備えた露光システム、荷電粒子源配置、半導体デバイスを製造する方法、及びターゲットを検査する方法 2020年 6月11日
特表 2020-514806 極紫外光源の光パルス発生 2020年 5月21日
特表 2020-514816 ベアリングデバイス、磁気重力補償器、振動絶縁システム、リソグラフィ装置、およびスプリング 2020年 5月21日
特表 2020-515028 基板の特性を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、及びデバイス製造方法 2020年 5月21日
特表 2020-515210 フィードスルーデバイス及び信号導体経路構成 2020年 5月21日
特表 2020-513113 リソグラフィ方法及び装置 2020年 4月30日
特表 2020-512551 位置測定システム、ゼロ調整方法、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2020年 4月23日
特表 2020-512573 極端紫外線光源のためのEUVクリーニングシステム及びその方法 2020年 4月23日
特表 2020-512577 極端紫外線光源のためのメトロロジシステム 2020年 4月23日
特表 2020-512582 基板の応力を決定する方法、リソグラフィプロセス、リソグラフィ装置、及びコンピュータプログラム製品を制御するための制御システム 2020年 4月23日
特表 2020-510853 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2020年 4月 9日
特表 2020-510856 機械学習によるプロセスモデルの決定方法 2020年 4月 9日
特表 2020-510880 センサマークおよびセンサマークの製造方法 2020年 4月 9日

140 件中 91-105 件を表示

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2020-516942 2020-516948 2020-517058 2020-514806 2020-514816 2020-515028 2020-515210 2020-513113 2020-512551 2020-512573 2020-512577 2020-512582 2020-510853 2020-510856 2020-510880

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