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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第286位 138件 (2019年:第272位 151件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第237位 122件 (2019年:第255位 108件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2020-516942 | リソグラフィ装置および冷却方法 | 2020年 6月11日 | |
特表 2020-516948 | 測定方法、デバイス製造方法、計測装置およびリソグラフィシステム | 2020年 6月11日 | |
特表 2020-517058 | 荷電粒子源モジュール、荷電粒子源モジュールを備えた露光システム、荷電粒子源配置、半導体デバイスを製造する方法、及びターゲットを検査する方法 | 2020年 6月11日 | |
特表 2020-514806 | 極紫外光源の光パルス発生 | 2020年 5月21日 | |
特表 2020-514816 | ベアリングデバイス、磁気重力補償器、振動絶縁システム、リソグラフィ装置、およびスプリング | 2020年 5月21日 | |
特表 2020-515028 | 基板の特性を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、及びデバイス製造方法 | 2020年 5月21日 | |
特表 2020-515210 | フィードスルーデバイス及び信号導体経路構成 | 2020年 5月21日 | |
特表 2020-513113 | リソグラフィ方法及び装置 | 2020年 4月30日 | |
特表 2020-512551 | 位置測定システム、ゼロ調整方法、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2020年 4月23日 | |
特表 2020-512573 | 極端紫外線光源のためのEUVクリーニングシステム及びその方法 | 2020年 4月23日 | |
特表 2020-512577 | 極端紫外線光源のためのメトロロジシステム | 2020年 4月23日 | |
特表 2020-512582 | 基板の応力を決定する方法、リソグラフィプロセス、リソグラフィ装置、及びコンピュータプログラム製品を制御するための制御システム | 2020年 4月23日 | |
特表 2020-510853 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2020年 4月 9日 | |
特表 2020-510856 | 機械学習によるプロセスモデルの決定方法 | 2020年 4月 9日 | |
特表 2020-510880 | センサマークおよびセンサマークの製造方法 | 2020年 4月 9日 |
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2020-516942 2020-516948 2020-517058 2020-514806 2020-514816 2020-515028 2020-515210 2020-513113 2020-512551 2020-512573 2020-512577 2020-512582 2020-510853 2020-510856 2020-510880
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11月22日(金) -
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11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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