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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第286位 138件 下降2019年:第272位 151件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第237位 122件 上昇2019年:第255位 108件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-52424 リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造 2020年 4月 2日
特表 2020-509431 コンピュータによる計測 2020年 3月26日
特開 2020-46680 リソグラフィ装置および方法 2020年 3月26日
特開 2020-46684 ターゲット材料を供給するための装置及び方法 2020年 3月26日
特開 2020-46686 基板ハンドリングシステムおよびリソグラフィ装置 2020年 3月26日
特表 2020-507800 メトロロジ方法、装置、及びコンピュータプログラム 2020年 3月12日
特開 2020-38384 計測方法、コンピュータ製品およびシステム 2020年 3月12日
特表 2020-507099 エキシマ光源におけるスペックルの低減 2020年 3月 5日
特開 2020-34927 流体ハンドリング構造及びリソグラフィ装置 2020年 3月 5日
特表 2020-506416 リソグラフィ装置、リソグラフィ投影装置及びデバイス製造方法 2020年 2月27日
特表 2020-506418 露光装置 2020年 2月27日
特表 2020-506509 荷電粒子検出のための方法及び装置 2020年 2月27日
特表 2020-506531 反射光ビームの光パワーの低減 2020年 2月27日
特表 2020-505635 リソグラフィ装置及びデバイスを製造する方法 2020年 2月20日
特表 2020-505638 基板上の構造を測定するための方法及び装置 2020年 2月20日

140 件中 106-120 件を表示

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2020-52424 2020-509431 2020-46680 2020-46684 2020-46686 2020-507800 2020-38384 2020-507099 2020-34927 2020-506416 2020-506418 2020-506509 2020-506531 2020-505635 2020-505638

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