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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2022年 出願公開件数ランキング    第222位 169件 上昇2021年:第339位 109件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第259位 122件 下降2021年:第239位 120件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2022-524182 リソグラフィシステムを制御するための方法 2022年 4月28日
特表 2022-523583 基板形状を推定する方法および装置 2022年 4月25日
特表 2022-523345 レチクルアセンブリのアセンブリのための装置 2022年 4月22日
特表 2022-523125 放射測定システム 2022年 4月21日
特表 2022-522760 EUV光源におけるターゲット材料制御 2022年 4月20日
特開 2022-60232 リソグラフィ装置において使用される基板ホルダ 2022年 4月14日
特開 2022-60253 ビーム画像システムのためのスイッチマトリクス設計 2022年 4月14日
特表 2022-522115 液滴発生器性能を制御する装置及び方法 2022年 4月14日
特開 2022-58401 基板の特性を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、及びデバイス製造方法 2022年 4月12日
特表 2022-521571 検査装置、リソグラフィ装置及び測定方法 2022年 4月11日
特表 2022-521572 利得要素を備えた荷電粒子検出器 2022年 4月11日
特表 2022-521573 ステージシステム及びリソグラフィ装置 2022年 4月11日
特表 2022-521630 リソグラフィプロセスにおけるレンズの加熱および/または冷却の影響を低減する方法 2022年 4月11日
特表 2022-521373 リフレクタ製造方法及び関連するリフレクタ 2022年 4月 7日
特表 2022-520954 放射ビームを測定するための方法およびリソグラフィ装置 2022年 4月 4日

175 件中 91-105 件を表示

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2022-524182 2022-523583 2022-523345 2022-523125 2022-522760 2022-60232 2022-60253 2022-522115 2022-58401 2022-521571 2022-521572 2022-521573 2022-521630 2022-521373 2022-520954

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