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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2022年 出願公開件数ランキング    第222位 169件 上昇2021年:第339位 109件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第259位 122件 下降2021年:第239位 120件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2022-520752 電子システム、加速度計、較正方法、リソグラフィ装置、デバイス製造方法 2022年 4月 1日
特表 2022-520161 荷電粒子ビームのエネルギーの広がりを制御するための装置及び方法 2022年 3月29日
特開 2022-43021 コンピュータによる計測 2022年 3月15日
特表 2022-518156 レイアウトパターン選択の方法及び装置 2022年 3月14日
特表 2022-517912 弾性ガイドデバイス、位置決めデバイス、ブレード及びリソグラフィ装置 2022年 3月11日
特表 2022-517529 投影システム及び投影システムを備えるリソグラフィ装置 2022年 3月 9日
特表 2022-517546 リソグラフィ装置で用いる基板ホルダ及びデバイス製造方法 2022年 3月 9日
特表 2022-517354 波面センサ及び関連するメトロロジ装置 2022年 3月 8日
特開 2022-36240 EUVリソグラフィ用のメンブレン 2022年 3月 4日
特表 2022-516405 プロセス制御のためのインダイメトロロジ方法及びシステム 2022年 2月28日
特表 2022-515973 EUVターゲット材料のEUVチャンバ内への導入を制御するための装置 2022年 2月24日
特開 2022-31882 マスクアセンブリ及び関連する方法 2022年 2月22日
特表 2022-515353 電子ビーム画像向上のための完全自動SEMサンプリングシステム 2022年 2月18日
特表 2022-515354 マルチビーム検査装置 2022年 2月18日
特表 2022-515020 半導体検出器及びこれを製造する方法 2022年 2月17日

175 件中 106-120 件を表示

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2022-520752 2022-520161 2022-43021 2022-518156 2022-517912 2022-517529 2022-517546 2022-517354 2022-36240 2022-516405 2022-515973 2022-31882 2022-515353 2022-515354 2022-515020

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