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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2022年 出願公開件数ランキング    第222位 169件 上昇2021年:第339位 109件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第259位 122件 下降2021年:第239位 120件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2022-132361 EUV光源においてデブリを制御するための装置及び方法 2022年 9月 8日
特表 2022-539425 メトロロジ方法及び関連のコンピュータプロダクト 2022年 9月 8日
特表 2022-539239 メトロロジにおける補正不能誤差 2022年 9月 7日
特表 2022-538287 リソグラフィ装置の基板ハンドリングシステムおよびその方法 2022年 9月 1日
特表 2022-537718 ミラー較正方法、位置測定方法、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2022年 8月29日
特表 2022-537741 半導体製造プロセスにおいて堆積モデルを適用する方法 2022年 8月29日
特開 2022-125282 デバイス製造方法の制御パラメータを決定する方法 2022年 8月26日
特開 2022-118150 サンプル検査における画像コントラスト強調 2022年 8月12日
特表 2022-535729 干渉計システム、干渉計システムのレーザ源のモードホップを判定する方法、可動物体の位置を判定する方法、及びリソグラフィ装置 2022年 8月10日
特表 2022-534660 サンプリングスキームを決定する方法、半導体基板測定装置、リソグラフィ装置 2022年 8月 3日
特表 2022-534673 マルチ荷電粒子ビーム装置及びその動作方法 2022年 8月 3日
特表 2022-534676 多重荷電粒子ビーム装置 2022年 8月 3日
特開 2022-111137 干渉計における周期誤差の測定および校正の手順 2022年 7月29日
特表 2022-533819 低クロストークを有する多重荷電粒子ビーム装置 2022年 7月26日
特表 2022-533319 リソグラフィ装置、基板テーブル、及び方法 2022年 7月22日

175 件中 46-60 件を表示

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2022-132361 2022-539425 2022-539239 2022-538287 2022-537718 2022-537741 2022-125282 2022-118150 2022-535729 2022-534660 2022-534673 2022-534676 2022-111137 2022-533819 2022-533319

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