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ギガフォトン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第1441位 17件 上昇2015年:第1659位 14件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第658位 38件 上昇2015年:第707位 31件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5932306 極端紫外光生成装置 2016年 6月 8日
特許 5925674 露光装置用レーザ装置およびその制御方法 2016年 5月25日
特許 5926521 チャンバ装置 2016年 5月25日
特許 5921876 極端紫外光生成装置 2016年 5月24日
特許 5921879 ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置 2016年 5月24日
特許 5917877 アライメントシステム 2016年 5月18日
特許 5914329 固体レーザ装置およびレーザシステム 2016年 5月11日
特許 5914742 極端紫外光源装置用レーザ光源装置、及びレーザ光源装置 2016年 5月11日
特許 5901058 ターゲット供給装置 2016年 4月 6日
特許 5881345 極端紫外光生成装置 2016年 3月 9日
特許 5881353 ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置 2016年 3月 9日
特許 5876711 チャンバ装置および極端紫外光生成装置 2016年 3月 2日
特許 5868670 ホルダ装置、チャンバ装置、および、極端紫外光生成装置 2016年 2月24日
特許 5864165 ターゲット供給装置 2016年 2月17日
特許 5864949 極端紫外光生成システム 2016年 2月17日

38 件中 16-30 件を表示

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5932306 5925674 5926521 5921876 5921879 5917877 5914329 5914742 5901058 5881345 5881353 5876711 5868670 5864165 5864949

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