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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第1441位 17件
(2015年:第1659位 14件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第658位 38件
(2015年:第707位 31件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5932306 | 極端紫外光生成装置 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5925674 | 露光装置用レーザ装置およびその制御方法 | 2016年 5月25日 | |
特許 5926521 | チャンバ装置 | 2016年 5月25日 | |
特許 5921876 | 極端紫外光生成装置 | 2016年 5月24日 | |
特許 5921879 | ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置 | 2016年 5月24日 | |
特許 5917877 | アライメントシステム | 2016年 5月18日 | |
特許 5914329 | 固体レーザ装置およびレーザシステム | 2016年 5月11日 | |
特許 5914742 | 極端紫外光源装置用レーザ光源装置、及びレーザ光源装置 | 2016年 5月11日 | |
特許 5901058 | ターゲット供給装置 | 2016年 4月 6日 | |
特許 5881345 | 極端紫外光生成装置 | 2016年 3月 9日 | |
特許 5881353 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置 | 2016年 3月 9日 | |
特許 5876711 | チャンバ装置および極端紫外光生成装置 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5868670 | ホルダ装置、チャンバ装置、および、極端紫外光生成装置 | 2016年 2月24日 | |
特許 5864165 | ターゲット供給装置 | 2016年 2月17日 | |
特許 5864949 | 極端紫外光生成システム | 2016年 2月17日 |
38 件中 16-30 件を表示
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5932306 5925674 5926521 5921876 5921879 5917877 5914329 5914742 5901058 5881345 5881353 5876711 5868670 5864165 5864949
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