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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第608位 49件
(2017年:第471位 83件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第581位 42件
(2017年:第664位 36件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6444489 | 固体レーザシステム、及び露光装置用レーザ装置 | 2018年12月26日 | |
特許 6441946 | レーザシステム | 2018年12月19日 | |
特許 6436989 | レーザシステム | 2018年12月12日 | |
特許 6434404 | 極端紫外光生成システム | 2018年12月 5日 | |
特許 6434984 | 極端紫外光生成システム及び極端紫外光を生成する方法 | 2018年12月 5日 | |
特許 6434985 | レーザ装置及び極端紫外光生成装置 | 2018年12月 5日 | |
特許 6426602 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光の生成方法 | 2018年11月21日 | |
特許 6421196 | ターゲット生成装置およびフィルタ構造体の製造方法 | 2018年11月 7日 | |
特許 6416766 | ターゲット供給装置 | 2018年10月31日 | |
特許 6416932 | 極端紫外光生成装置 | 2018年10月31日 | |
特許 6412494 | レーザ光の波長を制御する方法およびレーザ装置 | 2018年10月24日 | |
特許 6381520 | 極端紫外光生成装置及びパルスレーザ光の集光ビーム計測装置 | 2018年 8月29日 | |
特許 6383729 | レーザ装置 | 2018年 8月29日 | |
特許 6383736 | 極端紫外光生成装置 | 2018年 8月29日 | |
特許 6378180 | 露光装置 | 2018年 8月22日 |
43 件中 1-15 件を表示
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6444489 6441946 6436989 6434404 6434984 6434985 6426602 6421196 6416766 6416932 6412494 6381520 6383729 6383736 6378180
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