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ギガフォトン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第608位 49件 下降2017年:第471位 83件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第581位 42件 上昇2017年:第664位 36件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6444489 固体レーザシステム、及び露光装置用レーザ装置 2018年12月26日
特許 6441946 レーザシステム 2018年12月19日
特許 6436989 レーザシステム 2018年12月12日
特許 6434404 極端紫外光生成システム 2018年12月 5日
特許 6434984 極端紫外光生成システム及び極端紫外光を生成する方法 2018年12月 5日
特許 6434985 レーザ装置及び極端紫外光生成装置 2018年12月 5日
特許 6426602 極端紫外光生成装置及び極端紫外光の生成方法 2018年11月21日
特許 6421196 ターゲット生成装置およびフィルタ構造体の製造方法 2018年11月 7日
特許 6416766 ターゲット供給装置 2018年10月31日
特許 6416932 極端紫外光生成装置 2018年10月31日
特許 6412494 レーザ光の波長を制御する方法およびレーザ装置 2018年10月24日
特許 6381520 極端紫外光生成装置及びパルスレーザ光の集光ビーム計測装置 2018年 8月29日
特許 6383729 レーザ装置 2018年 8月29日
特許 6383736 極端紫外光生成装置 2018年 8月29日
特許 6378180 露光装置 2018年 8月22日

43 件中 1-15 件を表示

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6444489 6441946 6436989 6434404 6434984 6434985 6426602 6421196 6416766 6416932 6412494 6381520 6383729 6383736 6378180

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