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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7195261 | レーザ加工方法 | 2022年12月23日 | |
特許 7193808 | 波長変換システム | 2022年12月21日 | |
特許 7175999 | レーザシステム、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年11月21日 | |
特許 7170055 | レーザシステム、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年11月11日 | |
特許 7166362 | レーザシステム、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年11月 7日 | |
特許 7161999 | 極端紫外光生成装置及びターゲット供給装置 | 2022年10月27日 | |
特許 7152426 | レーザ加工方法及びレーザ加工システム | 2022年10月12日 | |
特許 7150711 | レーザ装置、及びレーザ装置管理システム、並びにレーザ装置の管理方法 | 2022年10月11日 | |
特許 7143439 | 極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 9月28日 | |
特許 7140338 | レーザ照射方法、及びレーザ照射システム | 2022年 9月21日 | |
特許 7123323 | レーザシステム | 2022年 8月23日 | |
特許 7114708 | レーザ加工装置、レーザ加工システム、及びレーザ加工方法 | 2022年 8月 8日 | |
特許 7110323 | 架台、極端紫外光生成システム、及びデバイスの製造方法 | 2022年 8月 1日 | |
特許 7110341 | ターゲット撮影装置及び極端紫外光生成装置 | 2022年 8月 1日 | |
特許 7096906 | レーザシステム、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 7月 6日 |
24 件中 1-15 件を表示
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7195261 7193808 7175999 7170055 7166362 7161999 7152426 7150711 7143439 7140338 7123323 7114708 7110323 7110341 7096906
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