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ギガフォトン株式会社
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（
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■ 2021年 特許取得件数ランキング 第701位 31件
（
2020年：第547位 42件）
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ギガフォトン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6976334 | 極端紫外光生成装置及びメンテナンス方法 | 2021年12月 8日 | |
| 特許 6977047 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成装置の制御方法 | 2021年12月 8日 | |
| 特許 6975135 | 固体レーザ装置、固体レーザシステム、及び露光装置用レーザ装置 | 2021年12月 1日 | |
| 特許 6951049 | 狭帯域化ＫｒＦエキシマレーザ装置 | 2021年10月20日 | |
| 特許 6952103 | 固体レーザシステム、及び波長変換システム | 2021年10月20日 | |
| 特許 6945054 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、電子デバイスの製造方法 | 2021年10月 6日 | |
| 特許 6937823 | ガスレーザ装置及び磁気軸受制御方法 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6928600 | レーザ装置及び極端紫外光生成システム | 2021年 9月 1日 | |
| 特許 6926227 | 極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 8月25日 | |
| 特許 6920316 | レーザ装置およびレーザアニール装置 | 2021年 8月18日 | |
| 特許 6920354 | レーザシステム | 2021年 8月18日 | |
| 特許 6917890 | レーザ装置及び狭帯域化光学系 | 2021年 8月11日 | |
| 特許 6910948 | レーザ装置、及び計測装置 | 2021年 7月28日 | |
| 特許 6895518 | 極端紫外光センサユニット | 2021年 6月30日 | |
| 特許 6895538 | 極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 6月30日 |
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6976334 6977047 6975135 6951049 6952103 6945054 6937823 6928600 6926227 6920316 6920354 6917890 6910948 6895518 6895538
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