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ギガフォトン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第821位 36件 下降2018年:第608位 49件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第612位 37件 下降2018年:第581位 42件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6616427 極端紫外光生成装置 2019年12月 4日
特許 6608939 レーザシステム 2019年11月20日
特許 6600688 ターゲット収容装置 2019年10月30日
特許 6592784 固体レーザシステムおよびエキシマレーザシステム 2019年10月23日
特許 6594490 極端紫外光生成システム 2019年10月23日
特許 6595012 狭帯域化レーザ装置 2019年10月23日
特許 6587676 ビームダンプ装置、それを備えたレーザ装置および極端紫外光生成装置 2019年10月 9日
特許 6585174 狭帯域化レーザ装置 2019年10月 2日
特許 6581077 レーザシステム又はレーザ露光システム 2019年 9月25日
特許 6577870 ターゲット供給装置 2019年 9月18日
特許 6577871 極端紫外光生成装置 2019年 9月18日
特許 6568051 レーザチャンバ 2019年 8月28日
特許 6568311 レーザ装置 2019年 8月28日
特許 6563905 ターゲット供給装置およびEUV光生成装置 2019年 8月21日
特許 6564451 極端紫外光生成装置及びその設計方法 2019年 8月21日

38 件中 1-15 件を表示

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6616427 6608939 6600688 6592784 6594490 6595012 6587676 6585174 6581077 6577870 6577871 6568051 6568311 6563905 6564451

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