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ギガフォトン株式会社

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ギガフォトン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7403271	極端紫外光集光ミラー、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2023年12月22日
特許 7402313	センサ劣化判定方法	2023年12月20日
特許 7401552	レーザ装置、及びレーザ装置のリークチェック方法	2023年12月19日
特許 7397447	レーザアニールシステム	2023年12月13日
特許 7390377	レーザシステム、及び電子デバイスの製造方法	2023年12月 1日
特許 7389691	極端紫外光生成装置、極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法	2023年11月30日
特許 7368984	極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2023年10月25日
特許 7357054	レーザチャンバ及び電子デバイスの製造方法	2023年10月 5日
特許 7344073	光学装置	2023年 9月13日
特許 7340005	スズトラップ装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2023年 9月 6日
特許 7329422	ビームデリバリシステム、焦点距離選定方法及び電子デバイスの製造方法	2023年 8月18日
特許 7329577	パルスレーザ光の生成方法	2023年 8月18日
特許 7328046	ＥＵＶチャンバ装置、極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法	2023年 8月16日
特許 7325452	レーザ装置の波長制御方法及び電子デバイスの製造方法	2023年 8月14日
特許 7313453	レーザ装置、レーザ加工システム及び電子デバイスの製造方法	2023年 7月24日

32 件中 1-15 件を表示

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7403271 7402313 7401552 7397447 7390377 7389691 7368984 7357054 7344073 7340005 7329422 7329577 7328046 7325452 7313453

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