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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第1925位 11件
(
2017年:第2121位 11件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第1497位 12件
(
2017年:第1441位 13件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2018-198114 | プラズマ源 | 2018年12月13日 | |
| 特開 2018-181717 | 位置決めピン、イオン源 | 2018年11月15日 | |
| 特開 2018-182289 | 静電チャック | 2018年11月15日 | |
| 特開 2018-182290 | 静電チャック | 2018年11月15日 | |
| 特開 2018-147864 | イオンビーム照射装置、イオン源の着脱方法 | 2018年 9月20日 | |
| 特開 2018-85369 | 半導体製造装置、基板支持装置の冷却方法 | 2018年 5月31日 | |
| 特開 2018-78265 | 加熱装置、半導体製造装置 | 2018年 5月17日 | |
| 特開 2018-78266 | 加熱装置、半導体製造装置 | 2018年 5月17日 | |
| 特開 2018-49809 | ビーム電流計測器、荷電粒子ビーム照射装置 | 2018年 3月29日 | |
| 特開 2018-45905 | イオン源 | 2018年 3月22日 | |
| 特開 2018-32568 | ホローカソード及びこれに用いられる電子放出部材 | 2018年 3月 1日 |
11 件中 1-11 件を表示
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2018-198114 2018-181717 2018-182289 2018-182290 2018-147864 2018-85369 2018-78265 2018-78266 2018-49809 2018-45905 2018-32568
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