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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2018年 出願公開件数ランキング    第194位 224件 下降2017年:第138位 386件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第121位 246件 下降2017年:第90位 339件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6298601 荷電粒子線装置 2018年 3月20日
特許 6298867 プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 2018年 3月20日
特許 6293499 真空処理装置 2018年 3月14日
特許 6294099 パターン測定装置、及びパターン測定装置の管理装置 2018年 3月14日
特許 6294131 欠陥レビュー装置、欠陥レビュー方法 2018年 3月14日
特許 6294182 イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 2018年 3月14日
特許 6294186 自動分析装置 2018年 3月14日
特許 6294213 荷電粒子線装置 2018年 3月14日
特許 6294696 遠赤外撮像装置、および遠赤外撮像方法 2018年 3月14日
特許 6295027 荷電粒子線装置およびそれを用いた計測方法 2018年 3月14日
特許 6295119 プラズマ処理装置 2018年 3月14日
特許 6295130 ドライエッチング方法 2018年 3月14日
特許 6295141 電子顕微鏡 2018年 3月14日
特許 6295150 質量分析装置 2018年 3月14日
特許 6289339 荷電粒子線装置及び情報処理装置 2018年 3月 7日

248 件中 181-195 件を表示

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6298601 6298867 6293499 6294099 6294131 6294182 6294186 6294213 6294696 6295027 6295119 6295130 6295141 6295150 6289339

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