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株式会社荏原製作所

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 ■ 2016年 出願公開件数ランキング    第223位 175件 (下降2015年:第200位 230件)

 ■ 2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 (上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-100423 洗浄具、洗浄具の製造方法、および、基板洗浄装置 2016年 5月30日
特開 2016-96256 基板保持装置 2016年 5月26日
特開 2016-96337 基板洗浄装置 2016年 5月26日
特開 2016-87568 気液分離器、及び、研磨処理装置 2016年 5月23日
特開 2016-87780 研磨装置および研磨方法 2016年 5月23日
特開 2016-89253 無電解めっき装置の運転方法 2016年 5月23日
特開 2016-89548 真空式汚水収集装置のための中央監視装置、監視システムおよび監視方法 2016年 5月23日
特開 2016-89745 磁気浮上型ポンプ 2016年 5月23日
特開 2016-92158 ロール部材、ペンシル部材、及びそれらの少なくともいずれか一方を含む基板処理装置 2016年 5月23日
特開 2016-92370 研磨装置 2016年 5月23日
特開 2016-78155 研磨装置、及び、基板処理装置 2016年 5月16日
特開 2016-78156 処理モジュール 2016年 5月16日
特開 2016-79504 基板ホルダおよびめっき装置 2016年 5月16日
特開 2016-81960 バフ処理装置、および、基板処理装置 2016年 5月16日
特開 2016-74048 処理コンポーネント、処理モジュール、及び、処理方法 2016年 5月12日

175 件中 106-120 件を表示

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2016-100423 2016-96256 2016-96337 2016-87568 2016-87780 2016-89253 2016-89548 2016-89745 2016-92158 2016-92370 2016-78155 2016-78156 2016-79504 2016-81960 2016-74048

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