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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-219260 排ガス処理装置 2017年12月14日
特開 2017-220682 研磨パッド 2017年12月14日
特開 2017-220683 ポリッシング装置 2017年12月14日
特開 2017-214898 ポンプユニット 2017年12月 7日
特開 2017-214899 ポンプユニット 2017年12月 7日
特開 2017-215099 消音器 2017年12月 7日
特開 2017-216481 ポリッシング装置 2017年12月 7日
特開 2017-216483 基板洗浄装置 2017年12月 7日
特開 2017-209757 リテーナリング、基板保持装置及び基板研磨装置 2017年11月30日
特開 2017-209784 研磨装置 2017年11月30日
特開 2017-210895 ポンプ点検方法、点検装置、ガイド部材及び治具 2017年11月30日
特開 2017-211100 排ガス処理装置 2017年11月30日
特開 2017-205853 弾性膜、基板保持装置、基板研磨装置、基板保持装置における基板吸着判定方法および圧力制御方法 2017年11月24日
再表 2016-125864 検査装置 2017年11月16日
特開 2017-203178 基板ホルダ及びこれを用いためっき装置 2017年11月16日

422 件中 16-30 件を表示

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2017-219260 2017-220682 2017-220683 2017-214898 2017-214899 2017-215099 2017-216481 2017-216483 2017-209757 2017-209784 2017-210895 2017-211100 2017-205853 2016-125864 2017-203178

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