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株式会社荏原製作所

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 ■ 2017年 出願公開件数ランキング    第108位 394件 (上昇2016年:第223位 175件)

 ■ 2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 (上昇2016年:第254位 129件)

(ランキング更新日:2026年10月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-220682 研磨パッド 2017年12月14日
特開 2017-220683 ポリッシング装置 2017年12月14日
特開 2017-218982 立軸ポンプ 2017年12月14日
特開 2017-214899 ポンプユニット 2017年12月 7日
特開 2017-214898 ポンプユニット 2017年12月 7日
特開 2017-215099 消音器 2017年12月 7日
特開 2017-216483 基板洗浄装置 2017年12月 7日
特開 2017-216481 ポリッシング装置 2017年12月 7日
特開 2017-209784 研磨装置 2017年11月30日
特開 2017-209757 リテーナリング、基板保持装置及び基板研磨装置 2017年11月30日
特開 2017-211100 排ガス処理装置 2017年11月30日
特開 2017-210895 ポンプ点検方法、点検装置、ガイド部材及び治具 2017年11月30日
特開 2017-205853 弾性膜、基板保持装置、基板研磨装置、基板保持装置における基板吸着判定方法および圧力制御方法 2017年11月24日
特開 2017-203178 基板ホルダ及びこれを用いためっき装置 2017年11月16日
特開 2017-203438 ポンプ装置およびライナーリング 2017年11月16日

398 件中 16-30 件を表示

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2017-220682 2017-220683 2017-218982 2017-214899 2017-214898 2017-215099 2017-216483 2017-216481 2017-209784 2017-209757 2017-211100 2017-210895 2017-205853 2017-203178 2017-203438

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