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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-194039 ポンプケーシングの製造方法およびポンプ 2017年10月26日
特開 2017-195335 基板洗浄装置 2017年10月26日
特開 2017-195416 基板処理装置 2017年10月26日
特開 2017-195587 ノイズフィルタユニットおよび回路装置 2017年10月26日
再表 2016-111335 研磨パッドの表面性状測定装置を備えたCMP装置 2017年10月19日
特開 2017-189868 研磨装置 2017年10月19日
特開 2017-190507 めっき装置及びめっき方法 2017年10月19日
特開 2017-190592 給水装置 2017年10月19日
特開 2017-191827 洗浄部材及び基板洗浄装置 2017年10月19日
特開 2017-185589 基板処理装置 2017年10月12日
特開 2017-185612 研磨装置および研磨方法 2017年10月12日
特開 2017-186677 電解銅めっき装置 2017年10月12日
特開 2017-186909 横軸ポンプ、横軸ポンプの摩耗検出方法 2017年10月12日
特開 2017-186912 横軸ポンプ、横軸ポンプの摩耗測定方法 2017年10月12日
特開 2017-186992 ポンプ 2017年10月12日

422 件中 46-60 件を表示

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2017-194039 2017-195335 2017-195416 2017-195587 2016-111335 2017-189868 2017-190507 2017-190592 2017-191827 2017-185589 2017-185612 2017-186677 2017-186909 2017-186912 2017-186992

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